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연자성물질 및 경자성물질로 구성되는 연자성/경자성 다층박막 테이프를 기판에 증착하는 다층박막 테이프 증착단계;상기 기판 상에 형성된 상기 다층박막 테이프를 상기 다층박막 테이프와 상기 기판으로 분리하는 박리단계; 및분리된 상기 다층박막 테이프를 적층 및 접합하는 적층적합과정 및 분리된 상기 다층박막 테이프를 분말화하고 압축성형하는 분말압축과정 중 어느 하나의 과정을 이용하여 벌크화하는 벌크화단계; 를 포함하는 연자성/경자성 다층 벌크 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 다층박막 테이프 증착단계 이전에,상기 기판과 상기 다층박막 테이프 사이에 분리층을 형성하는 분리층 형성단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연자성/경자성 다층 벌크 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 분리층은, NaCl, BaO, MgO 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 연자성/경자성 다층 벌크 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 다층박막 테이프는, 고속 증착방법을 이용하여 상기 기판 상에 연자성물질 및 경자성물질을 다층으로 증착하는 것을 특징으로 하는 연자성/경자성 다층 벌크 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 적층적합과정은,상기 다층박막 테이프를 솔더링법을 이용하여 적층 및 적합하는 것을 특징으로 하는 연자성/경자성 다층 벌크 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 적층적합과정은,적층적합되며 벌크화되는 상기 다층박막 테이프의 두께 증가를 위하여 반복되어 행해지는 것을 특징으로 하는 연자성/경자성 다층 벌크 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 적층적합과정에서,상기 다층박막 테이프 사이에는 다층박막 테이프 간 접합을 용이하게 하는 중간층이 형성되는 것을 특징으로 하는 연자성/경자성 다층 벌크 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 분말압축과정에서,분말화된 상기 다층박막 테이프는 10 미크론 이하의 분말인 것을 특징으로 하는 연자성/경자성 다층 벌크 제조방법
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 연자성/경자성 다층 벌크 제조방법에 의하여 제조된 연자성/경자성 다층 벌크
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