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a) 적어도 하나의 제1 미세채널을 통하여 미세유체 채널 구조의 반응 영역 내로 나노입자 형성용 수계 반응물을 도입하는 단계;b) 상호 교차하는 형태로 배열된 한 쌍의 제2 미세채널을 통하여 상기 수계 반응물과 비혼화성을 갖는 캐리어 유체를 반응 영역 내로 도입하고 상기 제1 미세채널과 상기 제2 미세채널의 접합 영역에서 상기 수계 반응물과 접촉시킴으로써 연속 상인 캐리어 유체 내에 복수의 수계 반응물의 미세액적을 형성하는 단계;c) 상기 반응 영역 내에서 상기 복수의 수계 반응물의 미세액적 단위로 나노입자의 합성 반응을 수행하면서 캐리어 유체 및 수계 미세액적을 반응 영역으로부터 배출하는 단계, 상기 반응 영역 내에서 나노입자가 합성되면서 통과하는 시간은 50 내지 10000 ms 범위에서 정하여짐; 및d) 상기 반응 영역의 후단과 연통되도록 구성된 미세유체 채널 구조의 ？칭 영역 내로, 상호 교차하는 형태로 배열된 한 쌍의 제3 미세채널을 통하여 무기산화물 형성용 수계 혼화성 졸-겔 반응물을 도입하여 상기 배출된 수계 미세액적과 접합(merge)시키면서 졸-겔 반응을 수행하는 동안 나노입자의 합성 반응을 인-시튜로 ？칭(quenching)하는 단계;를 포함하며,상기 수계 혼화성 졸-겔 반응물은 무기산화물의 전구체를 함유하는 액상 매질이고,상기 졸-겔 반응에 의하여 상기 나노입자의 추가적인 성장이 억제되며, 그리고상기 ？칭 단계에 의하여 무기산화물 겔 내에 복수의 나노입자가 매립된 형태의 복합체가 형성되는 미세액적 기반의 미세유체 디바이스 내에서 나노입자를 제조하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 나노입자의 성상을 분석하기 위하여, e) 상기 ？칭된 졸-겔 반응의 생성물을 모니터링하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제2항에 있어서, f) 상기 모니터링하는 단계의 결과에 따라 상기 단계 c)의 반응 시간을 조절하기 위한 변수를 변경하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제3항에 있어서, 상기 반응 시간을 조절하기 위한 변수는 반응 영역의 길이 및 형상, 그리고 나노입자 형성용 수계 반응물의 유속 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반응 영역은 35 내지 60℃로 설정되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나노입자는 금속 나노입자로서, 상기 금속은 주기율표 상의 6족, 8족, 9족, 10족 및 11족으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 방법
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제6항에 있어서, 상기 금속은 금(Au), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 이리듐(Ir), 오스뮴(Os), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 코발트(Co), 구리(Cu) 또는 이의 합금인 것을 특징으로 하는 방법
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제6항에 있어서, 상기 나노입자 형성용 수계 반응물은 수용성 금속 전구체 및 환원제를 함유하는 것을 특징으로 하는 방법
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제8항에 있어서, 상기 수용성 금속 전구체는 금속의 질산염, 탄산염, 염화물, 인산염, 붕산염, 설폰산염 및 황산염으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 무기산염, 및/또는 스테아린산염, 미리스틴산염, 아세트산염으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 유기산염인 것을 특징으로 하는 방법
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제8항에 있어서, 상기 환원제는 아스코르브산(ascorbic acid), 시트르산(citric acid), NaBH4, 에탄올, 프로판올, 디에틸렌글리콜(diethylene glycol), 모노에틸렌글리콜(monoethylene glycol) 또는 이의 조합인 것을 특징으로 하는 방법
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제8항에 있어서, 상기 나노입자 형성용 수계 반응물 내 수용성 금속 전구체의 함량은 0
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제8항에 있어서, 상기 나노입자 형성용 수계 반응물은 계면활성제로서 폴리비닐알코올(poly(vinylalcohol)), 폴리비닐피롤리돈(poly(vinylpyrrolidone)), 폴리에틸렌이민(poly(ethyleneimine)), 폴리아크릴산(poly(acrylic acid)) 및 폴리에틸렌 옥사이드(Polyethylene oxide)로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제12항에 있어서, 상기 나노입자 형성용 수계 반응물은 캡핑제로서 LiCl, NaCl, KC1, LiBr, NaBr, KBr, Lil, Nal 및 KI로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 금속 할로겐화물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 캐리어 유체는 탄소수 10 내지 50의 탄화수소를 포함하는 탄소계 오일인 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 미세액적의 사이즈는 0
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제1항에 있어서, 무기 산화물은 실리카, 티타니아, 이트리아 또는 지르코니아인 것을 특징으로 하는 방법
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제16항에 있어서, 상기 실리카의 전구체는 TMOS(tetramethoxyorthosilane), TEOS(tetraethoxyorthosilane) 및 APTES(3-Triethoxysilylpropylamine)으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나이고, 그리고상기 액상 매질은 탄소수 1 내지 4의 알코올, 물 또는 이의 조합인 것을 특징으로 하는 방법
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제16항에 있어서, 상기 티타니아의 전구체는 티타늄(IV) 부톡사이드, 티타늄(II) 클로라이드, 티타늄(III) 클로라이드, 티타늄(IV) 클로라이드, 티타늄 디이소프로폭사이드 비스(아세틸아세토네이트), 티타늄(IV) 에톡사이드, 티타늄(IV) 이소프로폭사이드 및 티타늄(IV) 프로폭사이드로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나이고, 그리고상기 액상 매질은 탄소수 1 내지 4의 알코올, 물 또는 이의 조합인 것을 특징으로 하는 방법
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제16항에 있어서, 상기 이트리아의 전구체는 이트륨 아세테이트, 이트륨 아세틸아세토네이트, 이트륨 부톡사이드, 이트륨 클로라이드, 이트륨 이소프로폭사이드, 이트륨 니트레이드 및 이트륨 설페이트로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나이고, 그리고상기 액상 매질은 탄소수 1 내지 4의 알코올, 물 또는 이의 조합인 것을 특징으로 하는 방법
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제16항에 있어서, 상기 지르코니아의 전구체는 지르코늄(IV) 아세테이트, 지르코늄(IV) 아세틸아세토네이트, 지르코늄(IV) 부톡사이드, 지르코늄(IV) 에톡사이드 및 지르코늄(IV) 프로폭사이드로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나이고, 그리고상기 액상 매질은 탄소수 1 내지 4의 알코올, 물 또는 이의 조합인 것을 특징으로 하는 방법
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제17항에 있어서, 상기 수계 혼화성의 졸-겔 반응물 내 실리카 전구체의 량은 액상 매질 기준으로 5 내지 20 체적% 범위인 것을 특징으로 하는 방법
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(i) 나노입자 형성용 수계 반응물을 도입하기 위한 적어도 하나의 제1 미세채널;(ii) 상기 적어도 하나의 제1 미세채널과 연통되며 나노입자의 합성 반응이 일어나는 미세유체 채널 구조의 반응 영역;(iii) 상기 수계 반응물과 비혼화성을 갖는 캐리어 유체를 도입하고, 상기 반응 영역으로 도입된 수계 반응물과 접촉하도록 상호 교차하는 형태로 배열된 한 쌍의 제2 미세채널, 여기서 상기 한 쌍의 제2 미세채널은 상기 제1 미세채널과 접합 영역을 형성하여 연속 상인 캐리어 유체 내에 복수의 수계 반응물의 미세액적을 형성하고, 상기 형성된 미세액적이 상기 반응 영역을 통과하면서 미세액적 단위로 수계 반응물의 나노입자 합성 반응이 일어나며, 그리고 상기 반응 영역은 나노입자가 합성되면서 통과하는 시간이 50 내지 10000 ms 범위에서 정하여지도록 구성됨;(iv) 상기 반응 영역의 후단과 연통되도록 구성되고, 무기산화물 형성용 수계 혼화성 졸-겔 반응물과 상기 반응 영역으로부터 배출된 수계 미세액적이 접합(merge)되면서 수행되는 졸-겔 반응에 의하여 무기산화물 겔 내에 복수의 나노입자가 매립된 형태의 복합체가 형성되는 미세유체 채널 구조의 ？칭 영역; 및(v) 상기 무기산화물 형성용 수계 혼화성 졸-겔 반응물을 도입하고, 상기 수계 혼화성 졸-겔 반응물이 상기 반응 영역으로부터 배출된 수계 미세액적과 접촉하도록 상호 교차하는 형태로 배열된 한 쌍의 제3 미세채널;을 포함하며,상기 수계 혼화성 졸-겔 반응물은 무기산화물의 전구체를 함유하는 액상 매질이고, 그리고상기 졸-겔 반응에 의하여 ？칭 영역 내에서 상기 나노입자의 추가적인 성장이 억제되는 미세액적 기반의 나노입자 제조용 미세유체 디바이스
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