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핸드헬드형 분광타원편광계측장치 및 이를 이용한 분광타원편광 파라미터 측정방법

  • 기술번호 : KST2020007039
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공간적 제약없이 휴대가 가능하며, 실시간으로 측정대상물의 분광편광 정보가 측정가능한 핸드헬드형 분광타원편광계측장치 및 이를 이용한 분광타원편광 파라미터 측정방법에 관한 것이다. 본 발명은 실시간으로 분광편광의 측정이 가능하고, 외부의 외란에 강인하며, 휴대가 가능한 핸드헬드 타입의 분광타원편광계측장치를 제공함으로써 평명기판 뿐 아니라 자유곡면 기판에 만들어진 박막과 주기나노패턴을 측정할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G01J 3/45 (2006.01.01) G02B 27/28 (2020.01.01) G01N 21/21 (2006.01.01) G01N 21/27 (2006.01.01) G01N 21/01 (2006.01.01)
CPC G01J 3/45(2013.01) G01J 3/45(2013.01) G01J 3/45(2013.01) G01J 3/45(2013.01) G01J 3/45(2013.01)
출원번호/일자 1020180144984 (2018.11.22)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2125624-0000 (2020.06.16)
공개번호/일자 10-2020-0059808 (2020.05.29) 문서열기
공고번호/일자 (20200707) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.22)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김대석 전라북도 전주시 덕진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성일 대한민국 대전광역시 서구 둔산중로 **, *층 ***호 국제특허법률사무소 태상 (둔산동, 인곡타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-1164422-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.01.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.02.14 수리 (Accepted) 9-1-2019-0008235-11
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0435786-43
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.08.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0834154-65
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-0834157-02
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
11 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2019.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0938890-03
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0098038-26
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.01.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0098032-53
14 등록결정서
Decision to grant		 2020.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0407350-74
15 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
 2020.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-5016464-02
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
몸체; 광원에서 조사된 광을 평행광으로 변환하는 평행광렌즈, 상기 평행광을 수광하여 선형편광으로 변환하는 선형편광자, 상기 선형편광을 분리 및 반사시켜 편광 변조되어 생성된 파동을 소정의 입사각으로 측정대상물로 출력하는 일체형 편광간섭계, 상기 측정대상물에서 반사된 파동을 선형편광하는 또 다른 선형편광자, 및 상기 또 다른 선형편광자에 의해 선형편광되어 간섭이 발생된 광의 분광편광정보를 측정하는 분광기를 포함하되, 상기 몸체내 구비되는 분광타원편광계측부;외부로 상기 일체형 편광간섭계에서 생성된 파동이 출사되며, 상기 측정대상물에서 반사된 파동이 입사되는 개구부;상기 몸체의 일측부에 구비되며, 상기 분광타원편광계측부를 조작할 수 있는 손잡이; 및상기 몸체와 상기 측정대상물간의 측정위치를 정렬시키기 위한 정렬보조장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드헬드형 분광타원편광계측장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 분광기는 상기 간섭이 발생된 광이 상기 측정대상물로 최대로 전달될 수 있는 상기 개구부와 상기 측정대상물간의 거리, 상기 입사각의 기준영역이 설정되는 기준영역설정부; 및상기 기준영역을 만족했을 시 상기 분광편광 정보를 측정하는 정보측정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드헬드형 분광타원편광계측장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 정렬보조장치는 레이저발생기에서 출력되는 광을 또 다른 평행광으로 변환하는 또 다른 평행광렌즈;상기 또 다른 평행광을 수광하여 두 개의 파동으로 분리시키는 빔 분리부;분리된 상기 두 개의 파동 중 하나의 파동을 반사시키기 위한 평면미러; 및 상기 평면미러에서 반사된 파동과 상기 측정대상물에서 반사된 파동 간의 간섭무늬이미지를 획득하는 이미지센서부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드헬드형 분광타원편광계측장치
5 5
제4항에 있어서,상기 정보측정부는 상기 간섭무늬이미지의 공간적 분포를 통해 확인된 기울어짐 정보에 따라 상기 몸체와 상기 측정대상물 간의 측정위치가 정렬되고, 상기 기준영역을 만족했을 시 상기 분광편광 정보를 측정하는 것을 특징으로 하는 핸드헬드형 분광타원편광계측장치
6 6
제1항에 있어서,상기 몸체 또는 손잡이내에 배치되며, 상기 분광타원편광계측부에 전력을 공급하는 배터리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 핸드헬드형 분광타원편광계측장치
7 7
제1항의 핸드헬드형 분광타원편광계측장치를 이용한 분광타원편광 피라미터 측정방법은기준시료에 대한 광원이 차단된 백그라운드 스펙스럼을 측정하는 백그라운드측정단계;2개의 간섭계 경로에 배치된 셔터를 사용하여 p- 및 s- 편광에 대한 강도를 측정하는 편광강도측정단계;푸리에 변환 방법을 사용하여 2개의 간섭된 스펙트럼으로부터 상기 기준시료에 대한 분광타원편광 파라미터 중 위상차(Δ(k))를 추출하는 위상차추출단계; 및상기 편광의 강도에 따라 검색된 스펙트럼 코히어런스 함수에 푸리에 변환 방법을 적용하여 상기 기준시료에 대한 분광타원편광 파라미터 중 진폭비(Ψ(k))를 추출하는 진폭비추출단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 분광타원편광 파라미터 측정방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 기준시료에 대한 분광타원편광 파라미터 위상차(Δ(k)) 및 진폭비(Ψ(k))로부터 측정하고자 하는 측정대상물의 막 두께, 물질 굴절률 및 주기적인 나노 패턴 3D 형상과 같은 광학 파라미터를 도출하는 파라미터도출단계;를 더 포함하는 것을 특징을 하는 분광타원편광 파라미터 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 연세대학교 선도연구센터지원 초정밀 광 기계기술 연구센터