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유동층 증착 원자층증착법을 위한 2D―TMDC/Carbon 복합 파우더의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020007080
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유동층 원자층 증착법을 이용하여 금속 또는 산화물을 증착하는 경우, 증착이 이루어지는 Powder 제조방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 크기와 밀도가 상이한 2D-TMDC와 카본의 복합 Powder를 이용하여 유동층 원자층 증착법에 활용하는 경우, 유동 특성을 향상시켜 복합 파우더의 균일성을 높이고, 원자층 증착법에 의한 코팅막의 형성이 균일하게 이루어질 수 있는 2D-TMDC/CARBON 복합 파우더의 제조하는 방법에 관한 것이다. 즉, 2D-TMDC/Carbon 복합 파우더를 제조하는데 있어서, 2D TMDC 파우더와 Carbon 파우더의 크기 차이를 최소화 시키기 위하여 3차원 형상의 2D TMDC 파우더를 이용하고, Carbon과 Ultrasonic을 이용한 기계적 분산과정을 거쳐 분산성을 향상하고, 일정한 크기를 가지는 마이크로 어글로머레이트 (Micro Agglomerate)가 형성되도록 여과를 통해 일정크기의 분말을 제조하여 유동층 원자층 증착법 적용시 유동이 원활하게 진행될 수 있는 2D-TMDC/Carbon 복합 파우더를 제조하는 방법을 제공한다.
Int. CL C23C 16/44 (2006.01.01) C23C 16/442 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/30 (2006.01.01)
CPC C23C 16/4417(2013.01) C23C 16/4417(2013.01) C23C 16/4417(2013.01) C23C 16/4417(2013.01)
출원번호/일자 1020180151243 (2018.11.29)
출원인 부산대학교 산학협력단, 한국해양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0064742 (2020.06.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
2 한국해양대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 영도구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권세훈 부산광역시 동래구
2 안지훈 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-1197019-89
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번호 청구항
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유동층 원자층 증착법에 사용하는 2D-TMDC/Carbon 복합 파우더에 있어서, 1차적으로 합성된 2D-TMDC 파우더에 2차 금속산화물과 S2를 통해 2차적으로 2D-TMDC Flake가 형성된 3차원 형상의 2D-TMDC 파우더와 Carbon 파우더를 이용하여, 기계적 혼합과, 여과기를 통한 분리를 통해 2D-TMDC와 Carbon이 균일하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 2D-TMDC/Carbon 복합 파우더 제조 방법
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제1항에 있어서, 1차적으로 합성된 2D-TMDC 파우더는 MoS2, WS2, SnS중 어느 하나인 것을 특징으로 하며, 1차 합성을 통해 1내지 10 마이크로미터의 크기를 가지며 판상형태의 파우더 인 것을 특징으로 하는 2D-TMDC/Carbon 복합 파우더 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 2차적으로 합성된 2D-TMDC 파우더는 MoS2, WS2, SnS중 어느 하나인 것을 특징으로 하며, 1차적으로 합성된 2D-TMDC 파우더를 기판으로 하여 금속 산화물 파우더와 S2로부터 1차적으로 합성된 2D-TMDC 파우더 표면에서 20 내지 800 나노미터 크기를 가지는 2D-TMDC 인 것을 특징으로 하는 2D-TMDC/Carbon 복합 파우더 제조 방법
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제1항에 있어서, 3차원 형상의 2D-TMDC 파우더와 Carbon 파우더의 기계적 혼합은 1차-2차 과정을 통해 형성된 3차원 형상의 2D-TMDC 파우더와 카본 파우더를 이용하여, Ultrasonic을 이용하는 것을 특징으로 하는 2D-TMDC/Carbon 복합 파우더 제조 방법
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