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a) 유동층 반응기 안에 카본 입자 투입하는 단계;b) 유동층 반응기 안을 진공화하여 기저 압력을 형성하는 단계; c) 유동층 반응기 안에 캐리어 가스와 함께 촉매 금속 전구체를 유입시켜 카본 입자와 촉매 금속 전구체를 접촉시키는 단계;d) 유동층 반응기 안에 퍼지가스를 유입시켜 퍼징하는 단계;e) 유동층 반응기 안에 반응가스를 유입시켜 촉매 금속 전구체를 카본 입자에 부착시키는 단계; 및f) 유동층 반응기 안에 퍼지가스를 유입시켜 퍼징하는 단계;를 포함하고, 상기 카본 입자에 촉매 금속을 나노 사이즈 스팟 형태로 부착하는 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 c) 내지 f) 단계를 수회 반복 실시하여 상기 카본 입자에 부착된 촉매 금속 스팟을 성장시키는 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 c)단계는 90 내지 150초 수행하고, 상기 d)단계는 60 내지 120초 수행하고, 상기 e)단계는 60 내지 120초 수행하고, 상기 f)단계는 60 내지 120초 수행하는 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 c) 내지 f) 단계에서, 상기 유동층 반응기에 10 내지 500 Hz로 진동을 가하여 상부 매시에 부착 물질을 제거하는 단계를 더 포함하는 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 유동층 반응기 안을 진공화하여 기저 압력을 형성하는 단계는 압력 0
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제1항에 있어서, 상기 c) 내지 f) 단계에서 유동층 반응기의 내부 온도는 200 내지 400℃인 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 촉매 금속 전구체는 Pt, Co, Ru, Pd, Cu, Ni, Ag, Ir, Mo, Fe, W, Au, Rh, 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 전구체인 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 Pt 전구체는 MeCpPtMe3, Pt(acac)2, HDMP([1,2,5,6·η)·1,5·hexadiene] dimethylpatinum(II), DDAP(C6H19NPt) 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 것이고, 상기 Co 전구체는 Co(iPrNCMeNiPr)2, CoCp2, CoCp(CO)2, Co2(CO)8 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 것이고, 상기 Ru 전구체는 Ru(Cp)2, Ru(EtCp)2, (EtCp)Ru(MeCp), (Me3NEtCp)RuCp, Ru(Cp)(CO)2Et, RuCp(CpCh(Me)(NMe2)), Ru(thd)3, Ru(tBuAMD)2(CO)2, Rudic, Carish 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 것이고, 상기 Pd 전구체는 Pd(hfac)2, Pd(thd)2, Pd(keim2)2 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 것이고, 상기 Cu 전구체는 CuCl, Cu(hfac)2, Cu(acac)2, Cu(thd)2, Cu(dmap)2, [Cu(iPrNCMeNiPr)2, [Cu(sBuNCMeNsBu)]2 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 것이고, 상기 Ni 전구체는 Ni(iPrNCMeNiPr)2, Ni(acac)2, Ni(hfip)2 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 것이고, 상기 Ag 전구체는 Ag(O2CtBu)(PEt3), Ag(hfac)(cod) 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 것이고, 상기 Ir 전구체는 Ir(acac)3, Ir(EtCp)(cod), Ir(MeCp)(chd) 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 것이고, 상기 Mo전구체는 MoCl5이고, 상기 Fe전구체는 Fe(iBuNCMeNtBu)2이고, 상기 W전구체는 WF6 인 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 카본 입자는, 카본 블랙, 그래핀, CNT, 및 이들의 조합을 포함하는 군에서 선택된 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 반응가스는 O2, O3, Air, H2, NH3, H2 plasma, NH3 plasma, 및 O2 plasma 중에서 선택된 것을 포함하는 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 퍼지가스는 아르곤 가스, 헬륨 가스 또는 질소 가스인 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 a) 유동층 반응기 안에 카본 입자 투입하는 단계 이전에, 상기 유동층 반응기의 배출구에 위치하는 상부매쉬 내부, 및 유동층 반응기의 유입구에 위치하는 하부매쉬 외부에 유리비드를 충진하는 단계를 더 포함하는 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 퍼지가스는 아르곤 가스이고, 상기 반응가스는 산소가스이고, 상기 카본 입자는 카본 블랙이고, 상기 금속 촉매 전구체는 MeCpPtMe3인 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 c) 내지 f) 단계의 유동층 반응기의 내부 압력은 1 내지 5 Torr이고, 상기 퍼지가스 유입속도는 50 내지 200sccm이고, 상기 반응가스의 유입속도는 10 내지 200sccm인 것인, 연료전지용 촉매 제조 방법
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유동층 반응기;유동층 반응기 상부에 연결되고, 유동층 반응기 내부의 압력을 제어하는 진공 펌프;유동층 반응기 하부에 연결된 퍼지가스 저장부;유동층 반응기 하부에 연결된 반응가스 저장부; 상기 퍼지가스 저장부와 유동층 반응기를 연결하는 제1 배관;상기 반응가스 저장부와 유동층 반응기를 연결하는 제2 배관; 및제1 배관에 연결되고, 촉매 금속 전구체를 저장하는 컨테이너;를 포함하고, 상기 유동층 반응기는상기 유동층 반응기 상부의 배출구에 위치하고, 내부에 중공부를 포함하고, 매쉬소재로 구성되고, 상면은 개방된 형태의 상부매쉬;상기 상부매쉬 내부에 충진된 상부 유리비드;상기 상부매쉬의 상면에 결합되는 상면매쉬;상기 유동층 반응기 하부의 유입구에 위치하고, 내부에 중공부를 포함하고, 매쉬소재로 구성된 하부매쉬; 및상기 유동층 반응기 하부에 충진된 하부 유리비드;를 포함하는, 연료전지용 촉매 제조 장치
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제15항에 있어서, 상기 유리비드는 지름이 1 내지 3mm인 것인, 연료전지용 촉매 제조 장치
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제15항에 있어서, 상기 상부매쉬에 부착되고, 상기 상부매쉬에 주기적으로 진동을 가하는 바이브레이터;를 더 포함하는 것인, 연료전지용 촉매 제조 장치
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제15항에 있어서, 하부 유리비드는 하부매쉬 높이보다 0
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제15항에 있어서, 상기 유동층 반응기 내부 온도는 200 내지 400℃이고, 상기 제1, 및 제2 배관의 내부 온도는 50 내지 150℃이고, 상기 컨테이너 내부 온도는 10 내지 50℃인 것인, 연료전지용 촉매 제조 장치
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