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고이동도 및 고전도성을 갖는 투명전도성산화물 전극

  • 기술번호 : KST2020007102
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고이동도 및 고전도성을 갖는 투명전도성산화물 전극에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 GaZnO로 이루어지는 제1산화물층; 상기 제1산화물층의 상부에 형성되며, InCdO로 이루어지는 제2산화물층; 및 상기 제2산화물층의 상부에 형성되며, 상기 제1산화물층과 동일하게 GaZnO로 이루어지는 제3산화물층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/0224 (2006.01.01) H01L 31/032 (2006.01.01) H01L 31/0445 (2014.01.01)
CPC H01L 31/022483(2013.01) H01L 31/022483(2013.01) H01L 31/022483(2013.01) H01L 31/022483(2013.01)
출원번호/일자 1020180147018 (2018.11.26)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0061567 (2020.06.03) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.26)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이병택 광주광역시 용봉로 **
2 레녹민 광주광역시 용봉로 **
3 이체신 광주광역시 용봉로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-1175311-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0033990-25
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0203789-74
5 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2020-0504595-04
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2020-0632062-05
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0632041-46
8 등록결정서
Decision to grant
2020.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0618210-84
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번호 청구항
1 1
50㎚ 두께로 형성되며 GaZnO로 이루어지는 제1산화물층;상기 제1산화물층의 상부에 30㎚ 두께로 형성되며, InCdO로 이루어지는 제2산화물층; 및상기 제2산화물층의 상부에 50㎚ 두께로 형성되며, 상기 제1산화물층과 동일하게 GaZnO로 이루어지는 제3산화물층을 포함하는 것을 특징으로 하는 고이동도 및 고전도성을 갖는 투명전도성산화물 전극
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제 1 항에 있어서,상기 제1산화물층 내지 제3산화물층은 준비된 석영기판 상에 RF 스퍼터링을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 고이동도 및 고전도성을 갖는 투명전도성산화물 전극
3 3
제 2 항에 있어서,상기 RF 스퍼터링은 ZnO, Ga2O3, CdO 및 In2O3를 타겟으로 이용하는 것을 특징으로 하는 고이동도 및 고전도성을 갖는 투명전도성산화물 전극
4 4
제 3 항에 있어서,상기 투명전도성산화물 전극은 평균 90%의 광투과율, 7
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 전남대학교 개인기초연구(교육부) 차세대 심자외선 광전소자를 위한 전도성 투명박막 및 oxide/conductor/oxide 다층구조 투명전극 소자 응용