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기판 코팅장치에 있어서,스테이지 상부에 위치하며, 상면으로 기판을 흡착하는 흡착모듈;기판 상면에 기 설정된 양의 코팅액을 x축 방향으로 이동하며 상기 기판의 상면에 공급하는 코팅액 공급모듈;상기 기판 상면에 도포된 코팅액을 x축 방향으로 이동하며 평평하게 성형하는 블레이드 코팅모듈;x축 방향으로 이동하며 코팅막의 표면을 촬영하는 광학모듈;상기 스테이지를 z축 방향으로 이동시키는 초점거리 이동모듈; 및상기 기판 코팅장치 내의 각 구성요소를 제어하는 제어모듈을 포함하되,상기 제어모듈은 상기 광학모듈에 의해 코팅막의 상면에 요철 결함을 검출하고, 상기 요철 결함이 돌기 형태인 경우에 상기 초점거리 이동 모듈에 의해 상기 스테이지를 +z축 방향으로 이동시키고, 상기 요철 결함이 요홈 형상인 경우에 상기 초점거리 이동 모듈에 의해 상기 스테이지를 -z축으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 기판 코팅장치는,상기 기판 상에 코팅되고 남은 코팅액을 수거하는 잔여 코팅액 수거장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 코팅액 공급모듈은,상기 기 설정된 양의 코팅액을 저장하는 저장탱크를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 광학모듈은,촬영한 이미지를 상기 제어모듈로 전송하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 초점거리 이동모듈은,상기 기판을 기 설정된 위치로 위치시키는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 흡착모듈은,진공압으로 기판을 흡착시키거나 분리시키는 흡착공;상기 진공압을 형성시키는 진공펌프; 및상기 진공압을 상기 흡착공으로 전달하는 진공 라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
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제6항에 있어서,상기 흡착공은,상기 흡착모듈의 상면에 복수 개로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
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제6항에 있어서,상기 진공펌프는,밸브의 개폐에 의해 공기의 세기가 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
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제6항에 있어서,상기 흡착모듈은,상기 기판 상에 도포된 상기 코팅액을 건조시키는 히팅 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치
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기판을 흡착모듈 상부에 밀착시키는 밀착과정;기판의 상면이 초기 위치에 위치하도록 스테이지를 기 설정된 방향으로 이동시키는 이동과정;상기 기판의 상면을 촬영하는 촬영과정;x축 방향으로 이동하며 상기 기판의 상면에 기 설정된 양의 코팅액을 공급하는 공급과정;x축 방향으로 이동하며 상기 기판의 상면에 공급된 코팅액을 균일하게 성형하는 성형과정;x축 방향으로 이동하며 코팅액 상면을 촬영하는 재촬영과정; 및상기 코팅액 상면에 생성된 요철 결함을 파악하고, 상기 스테이지를 기 설정된 방향으로 이동시키는 재이동과정을 포함하되,상기 재이동과정은,상기 재촬영과정에서 촬영된 코팅액의 상면에 대한 이미지를 분석하여 요철 결함을 검출하고, 상기 요철 결함이 돌기 형태인 경우에 상기 스테이지를 +z축 방향으로 이동시키고, 상기 요철 결함이 요홈 형상인 경우에 상기 스테이지를 -z축으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 코팅장치의 코팅방법
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