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xy 평면에서 연장되는 수직자성박막에, y 방향으로 연장되고 z 방향으로 자화되는 제1 자구(magnetic domain)와, 상기 y 방향으로 연장되고 상기 z 방향과 반대 방향으로 자화되는 제2 자구가, x 방향으로 교대로 배열되는 스트라이프 패턴을 형성하는 단계;상기 수직자성박막에 z 방향으로 소정의 크기의 자기장을 인가함으로써 상기 제1 자구 및 상기 제2 자구의 x 방향의 폭을 변화시키는 단계; 및상기 제1 자구와 상기 제2 자구의 x 방향의 폭의 비율에 기초하여 상기 수직자성박막의 자화의 절대값을 산출하는 단계를 포함하고,상기 스트라이프 패턴을 형성하는 복수의 상기 제1 자구의 x 방향의 폭은 동일하고,상기 스트라이프 패턴을 형성하는 복수의 상기 제2 자구의 x 방향의 폭은 동일한 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제1항에 있어서,상기 x 방향에서 상기 제1 자구의 폭 및 상기 제2 자구의 폭의 합(λ), 상기 제2 자구의 상기 x 방향의 폭(W), 상기 수직자성박막의 z 방향의 두께(d), 상기 z 방향으로 인가되는 자기장의 크기(Hz) 및 상기 수직자성박막의 자화의 크기(M)는 하기의 식을 만족하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제2항에 있어서,상기 수직자성박막의 자화의 절대값을 산출하는 단계는,상기 제1 자구 및 상기 제2 자구의 폭이 변화된 수직자성박막의 이미지를 생성하는 단계;상기 이미지로부터 상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 합(λ)을 측정하는 단계;상기 이미지로부터 상기 R을 측정하는 단계; 및상기 제1 자구의 폭과 상기 제2 자구의 폭의 합(λ) 및 R에 기초하여 상기 수직자성박막의 자화의 크기를 산출하는 단계를 포함하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제3항에 있어서,상기 R을 측정하는 단계는, 상기 수직자성박막의 이미지로부터, 밝기에 따른 픽셀의 수를 나타내는 히스토그램을 생성하는 단계;상기 히스토그램에서, 좌측의 봉우리를 중심으로 하는 제2 자구 분포 및 우측의 봉우리를 중심으로 하는 제1 자구 분포를 추정하는 단계; 및상기 제1 자구 분포의 면적과 상기 제2 자구 분포의 면적을 기초로 상기 R 값을 계산하는 단계를 포함하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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제4항에 있어서,상기 R 값을 계산하는 단계에서,상기 제1 자구 분포의 면적을 N+Z,상기 제2 자구 분포의 면적을 N-Z라고 할 때, 상기 R 값은 하기의 식을 만족하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 방법
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xy 평면에서 연장되는 수직자성박막에 전류를 공급함으로써, 상기 수직자성박막에, y 방향으로 연장되고 +z 방향으로 자화되는 제1 자구와, 상기 y 방향으로 연장되고 -z 방향으로 자화되는 제2 자구가, x 방향으로 교대로 배열되는 스트라이프 패턴을 형성하는 패턴 형성부;상기 수직자성박막에 z 방향으로 소정의 크기의 자기장을 인가함으로써 상기 제1 자구 및 상기 제2 자구의 x 방향의 폭을 변화시키는 자기장 공급부; 및상기 변화된 제1 자구와 상기 제2 자구의 x 방향의 폭의 비율에 기초하여 상기 수직자성박막의 자화의 크기를 산출하는 이미지 분석부를 포함하고,상기 스트라이프 패턴을 형성하는 복수의 상기 제1 자구의 x 방향의 폭은 동일하고,상기 스트라이프 패턴을 형성하는 복수의 상기 제2 자구의 x 방향의 폭은 동일한 것을 특징으로 하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제6항에 있어서,상기 패턴 형성부는,x 방향으로 배열된 톱니 형상의 단부를 갖는 전극과,상기 전극에 전류를 공급하는 전류공급부를 포함하고, 상기 톱니 형상의 단부는 상기 수직자성박막에 접촉하는, 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제6항에 있어서,상기 패턴 형성부는, 상기 수직자성박막에 제2 자기장을 인가하는 제2 자기장 공급부;상기 제2 자기장이 인가된 수직자성박막의 어느 한 지점에 레이저를 조사함으로써 상기 수직자성박막을 가열하는 레이저 공급부; 및상기 레이저를 y 방향으로 이동시키는 이동부를 포함하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제6항에 있어서,상기 패턴 형성부는,자성을 갖고 자기장을 발생시키며, 상기 수직자성박막을 자화시키는 MFM(Magnetic Force Microscope) 팁(tip); 및 상기 MFM 팁을 y 방향으로 이동시키는 제2 이동부를 포함하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제9항에 있어서,상기 MFM 팁은 x 방향으로 배열된 복수의 MFM 팁을 포함하고,상기 제2 이동부는, 상기 복수의 MFM 팁을 y 방향으로 동시에 이동시키는, 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제6항에 있어서,상기 자기장이 인가된 수직자성박막의 밝기를 측정하는 자성 이미징부를 더 포함하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제11항에 있어서,상기 이미지 분석부는, 상기 수직자성박막의 밝기에 기초하여 상기 제1 자구의 x 방향의 폭과 상기 제2 자구의 x 방향의 폭의 비율을 산출하는, 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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제12항에 있어서,상기 이미지 분석부는, 하기의 식에 의해 상기 수직자성박막의 자화의 크기를 산출하는 수직자성박막의 자화의 크기를 측정하는 장치
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