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레이저를 이용한 전자소자 접합장치

  • 기술번호 : KST2020007911
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 레이저를 이용한 전자소자 접합장치를 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 소결 페이스트를 이용해 전자 소자를 금속 프레임 상에 접합시키는 장치에 있어서, 상기 전자소자로 레이저 빔을 조사하는 레이저 광원과 상기 전자소자의 상단에서 상기 전자소자와 접촉함으로써, 상기 전자소자에 중력방향으로 압력을 가하는 지그 및 상기 레이저 광원의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자소자 접합장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/687 (2006.01.01) B23K 26/20 (2014.01.01) B23K 101/36 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67121(2013.01) H01L 21/67121(2013.01) H01L 21/67121(2013.01) H01L 21/67121(2013.01) H01L 21/67121(2013.01) H01L 21/67121(2013.01)
출원번호/일자 1020180165171 (2018.12.19)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0076251 (2020.06.29) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.01.03)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김완호 광주광역시 광산구
2 김재필 광주광역시 광산구
3 전시욱 광주광역시 북구
4 장인석 서울특별시 양천구
5 송영현 경기도 화성시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태영 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 *** A동, ***호(태정특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1278767-34
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0007004-50
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.08.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0038485-41
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0249792-78
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0559780-11
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2020-0559743-32
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
10 등록결정서
Decision to grant
2020.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0473771-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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레이저를 소결 페이스트로 조사하여 전자 소자를 금속 프레임 상에 접합시키는 과정에서 전자소자를 고정하기 위한 장치에 있어서,상기 전자소자의 상단에서 상기 전자소자와 접촉하여 상기 전자소자에 중력방향으로 압력을 가함으로써, 상기 소결 페이스트의 소결과정에서 공극이 발생하는 것을 방지하고, 광학계를 포함하여 레이저 광원에서 조사된 레이저 빔을 균일화하며,상기 레이저 광원과 가까운 쪽 일 끝단에 레이저 빔을 반사시키기 위한 반사부를 포함하는 지그를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자소자 접합장치
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제1항에 있어서,상기 레이저 광원은,적외선 대역의 레이저 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 전자소자 접합장치
3 3
제1항에 있어서,상기 지그는,쿼츠 글라스(Quartz Glass) 재질로 구현된 것을 특징으로 하는 전자소자 접합장치
4 4
제1항에 있어서,상기 지그는,상기 전자소자와 접촉하는 방향의 끝단에 상기 지그의 내부 방향으로 돌출된 돌출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자소자 접합장치
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15 15
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 ㈜파루 기능성 화학소재 클러스터 구축사업 고방열/고접착의 반도체용 고신뢰성 Die attach 소재 개발