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기둥 형상의 바디부; 상기 바디부 위에 배치되고 상기 바디부보다 폭이 큰 헤드부; 및상기 헤드부 위에 배치되는 헤드부 보조층을 포함하고,상기 헤드부 보조층의 가장자리 부분은 상기 헤드부의 가장자리에 대하여 경사지도록 상기 헤드부의 가장자리로부터 신장하여 위 또는 아래로 휘는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 헤드부 보조층은 고분자로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 헤드부 보조층은 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체
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제 4 항에 있어서,상기 헤드부 보조층은 알루미늄으로 형성되고,상기 헤드부 보조층의 가장자리 부분은 상기 헤드부의 가장자리에서 아래로 휘는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체
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제 4 항에 있어서,상기 헤드부 보조층은 금으로 형성되고,상기 헤드부 보조층의 가장자리 부분은 상기 헤드부의 가장자리에서 위로 휘는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 바디부와 상기 헤드부는 고분자로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 바디부와 상기 헤드부는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 헤드부는 위로 갈수록 폭이 커지는 것을 특징으로 나노-마이크로 구조체
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제 1 항에 있어서,상기 나노-마이크로 구조체는 소유성을 갖는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체
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기둥 형상의 바디부를 형성하는 단계;상기 바디부 위에 상기 바디부보다 폭이 큰 헤드부를 형성하는 단계; 및상기 헤드부 위에 헤드부 보조층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 헤드부 보조층은 열 증발기를 이용하여 금속을 증착시키는 것에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체의 형성 방법
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제 11 항에 있어서,상기 바디부를 형성하는 단계는,기둥 형상의 리세스 영역을 갖는 제1 기판에 제1 고분자를 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체의 형성 방법
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제 12 항에 있어서,상기 헤드부를 형성하는 단계는,상기 제1 기판 위에 지지층을 배치한 후 상기 리세스 영역에 형성된 상기 바디부를 픽업하는 단계,제2 기판 위에 제2 고분자를 스핀 코팅하여 고분자층을 형성하는 단계, 및상기 바디부를 상기 고분자층에 접촉시킨 후 자외선을 제공하여 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체의 형성 방법
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제 13 항에 있어서,상기 제1 고분자와 상기 제2 고분자는 같은 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체의 형성 방법
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제 13 항에 있어서,상기 바디부, 상기 헤드부, 및 상기 헤드부 보조층이 형성된 상기 지지층 위에 제3 고분자를 제공한 후 경화시켜 고분자 몰딩층을 형성하는 단계,상기 고분자 몰딩층에서 상기 바디부, 상기 헤드부, 및 상기 헤드부 보조층을 제거하여 리세스 영역을 형성하는 단계, 및 상기 리세스 영역을 포함하는 상기 고분자 몰딩층에 제4 고분자를 제공하는 단계를 더 포함하는 나노-마이크로 구조체의 형성 방법
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제 17 항에 있어서,상기 리세스 영역 내에서 상기 제4 고분자에 의해 바디부, 헤드부, 및 헤드부 보조층이 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체의 형성 방법
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제 17 항에 있어서,상기 제4 고분자는 PDMS(Polydimethylsiloxane)인 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 구조체의 형성 방법
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