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부직포형태의 탄소섬유;및탄소마이크로코일;을 포함하고,상기 탄소마이크로코일은 상기 탄소섬유의 표면으로부터 성장되어 있고,상기 부직포형태의 탄소섬유 및 상기 탄소마이크로코일은 무정형으로 배열되어 다중교차점이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포
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제1항에 있어서,상기 탄소섬유의 직경은 7
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제1항에 있어서,상기 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 두께는 3
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제1항에 있어서,상기 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 전기 전도도는 1
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제1항에 있어서,상기 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포는 8
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기판상에 배치된 부직포 형태의 탄소섬유에 금속나노입자를 도포하는 단계;및상기 탄소섬유상에 탄소마이크로코일을 성장시키는 단계;를 포함하고,상기 탄소마이크로코일을 성장시키는 단계는, 열화학기상증착법으로 성장시키는 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 기판은, 실리콘, 실리콘산화막, 알루미나로 이루어진 그룹 중에서 선택된 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 기판의 두께는 1mm 내지 3mm인 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 금속나노입자는 니켈(Ni), 철(Fe), 코발트(Co), 텅스텐(W) 또는 이들 합금으로 이루어진 그룹 중에서 선택된 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 금속나노입자의 직경은 0
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제9항에 있어서,상기 금속나노입자는 다발형(bunch-type)인 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 탄소마이크로코일을 성장시키는 단계는, 90Torr 내지 120Torr의 압력범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 탄소마이크로코일을 성장시키는 단계는, 600℃ 내지 800℃의 온도범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 열화학기상증착법에 사용되는 원료가스는 아세틸렌(C2H2), 메탄(CH4), 에틸렌(C2H4)로 이루어진 그룹 중에서 선택된 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 열화학기상증착법에 사용되는 첨가가스는 이황화탄소(CS2), 육불화황(SF6)로 이루어진 그룹 중에서 선택된 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제14항에 있어서, 상기 원료가스의 유속은 400cm3/min(sccm) 내지 500cm3/min(sccm)인 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 첨가가스의 유속은 10cm3/min(sccm) 내지 15cm3/min(sccm)인 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 탄소마이크로코일을 성장시키는 단계는, 10분 내지 70분동안 수행되는 것을 특징으로 하는 탄소섬유-탄소마이크로코일 하이브리드 탄소포의 제조방법
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