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전자기파를 방출하는 소스부;상기 전자기파를 측정하는 디텍터부;상기 소스부 및 상기 디텍터부 사이의 그라운드막;상기 그라운드막 상의 기판; 및상기 기판 상에 배치되고, 상기 전자기파가 통과하는 도파로를 포함하는 샘플 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 도파로는 서로 이격되는 제1 도파로 및 제2 도파로를 포함하고,상기 기판은 상기 제1 및 제2 도파로들 사이에 배치되는 샘플 배치부를 포함하는 샘플 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 도파로는 그의 상면에 배치되는 샘플 배치부를 포함하는 샘플 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 그라운드막은 제1 방향으로 서로 이격되는 제1 및 제2 그라운드막들을 포함하고,상기 기판은 상기 제1 및 제2 그라운드막들 사이에서 상기 제1 방향으로 서로 이격되는 제1 및 제2 기판들을 포함하고,상기 도파로는 상기 제1 및 제2 기판들 사이에 배치되는 샘플 검사 장치
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제4 항에 있어서,각각의 상기 제1 및 제2 기판들은 그의 상면들에 배치되는 샘플 배치부들을 포함하고,상기 샘플 배치부들은 상기 제1 방향으로 서로 중첩되는 샘플 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 소스부는,서로 다른 파장을 가지는 복수개의 빗 라인들(comb line)을 출력하는 광원;상기 광원에서 전송된 상기 빗 라인들 중 일부를 감쇄시키고, 다른 일부를 출력하는 펄스 셰이퍼;상기 펄스 셰이퍼에서 전송된 빗 라인들을 비팅(beating)시키는 포토믹서를 포함하는 샘플 검사 장치
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제6 항에 있어서,상기 소스부는,상기 광원에서 출력된 빗 라인들의 파워를 증가시키는 증폭기를 더 포함하는 샘플 검사 장치
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제6 항에 있어서,상기 소스부는,상기 펄스 셰이퍼의 동작을 제어하는 제어기를 더 포함하는 샘플 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 디텍터부는,상기 전자기파를 검출하는 검출기;상기 검출기에서 전송된 전자기파를 검출 신호로 변환하는 컨버터; 및상기 컨버터에서 전송된 검출 신호를 기준 신호와 비교하는 프로세서를 포함하는 샘플 검사 장치
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제9 항에 있어서,상기 디텍터부는,상기 검출기에서 전송된 전자기파의 파워를 보정하는 증폭기를 더 포함하는 샘플 검사 장치
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제9 항에 있어서,상기 디텍터부는,제1 저장소 및 제2 저장소를 더 포함하고,상기 프로세서는 상기 제1 저장소로부터 보정 신호를 전달받아 상기 검출 신호를 보정하고, 상기 제2 저장소로부터 상기 기준 신호를 전달받는 샘플 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 소스부, 상기 디텍터부 및 상기 도파로와 각각 연결되는 안테나들을 더 포함하는 샘플 검사 장치
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제1 항에 있어서,상기 전자기파는 0
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그라운드막;상기 그라운드막 상의 기판;상기 기판 상에서 제1 방향으로 연장하고, 제1 단부 및 제2 단부를 포함하는 제1 도파로;상기 기판 상에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하고, 제1 단부 및 제2 단부를 포함하는 제2 도파로;상기 그라운드막의 일 측에 배치되는 소스부 및 디텍터부를 포함하고,상기 제1 도파로의 제1 단부 및 상기 제2 도파로의 제1 단부는 서로 연결되는 샘플 검사 장치
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제14 항에 있어서,상기 기판은 상기 제1 도파로의 제1 단부 및 상기 제2 도파로의 제1 단부와 연결되는 샘플 배치부를 포함하는 샘플 검사 장치
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제14 항에 있어서,상기 제1 도파로의 제2 단부 및 상기 제2 도파로의 제2 단부는 서로 이격되는 샘플 검사 장치
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내부 공간 및 상기 내부 공간을 외부 공간과 연통시키는 개구를 포함하는 본체;상기 내부 공간에 배치되는 소스부 및 디텍터부;상기 내부 공간에 배치되고, 상기 소스부로부터 상기 개구를 향해 연장되는 제1 도파로; 및상기 내부 공간에 배치되고, 상기 디텍터부로부터 상기 개구를 향해 연장되는 제2 도파로를 포함하는 샘플 검사 장치
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제17 항에 있어서,상기 본체는 원통 형태의 베이스부 및 원뿔 형태의 캡부를 포함하고,상기 개구는 상기 캡부의 단부에 제공되는 샘플 검사 장치
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제17 항에 있어서,상기 제1 도파로는 상기 소스부와 연결되는 제1 부분 및 상기 개구와 연결되는 제2 부분을 포함하고,상기 제2 도파로는 상기 디텍터부와 연결되는 제1 부분 및 상기 개구와 연결되는 제2 부분을 포함하고,상기 제1 도파로의 제2 부분과 상기 제2 도파로의 제2 부분 사이의 이격 거리는 상기 개구에 가까워질수록 감소하는 샘플 검사 장치
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