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혼합대상물들을 혼합하도록 구성된 공진 혼합 장치로서,페이로드 상부 플레이트;상기 페이로드 상부 플레이트의 아래쪽에 위치한 페이로드 하부 플레이트;상기 페이로드 상부 플레이트와 상기 페이로드 하부 플레이트 사이에 위치한 공진 모터;상기 공진 모터의 가진에 의하여 혼합대상물 용기를 상하로 운동시키도록 구성된 탄성 공진기구; 및 상기 페이로드 상부 플레이트 상에 고정되고, 회전 방향 및 회전 속도가 제어 가능한 회전기구를 포함하고,상기 회전기구는 반대 극성의 영구자석이 번갈아 연결된 환형 플레이트의 로터 및 일정 간격으로 코일이 위치된 환형 플레이트의 스테이터를 포함하고, 상기 스테이터의 코일들이 선택적으로 전류를 공급하여 로터를 원하는 방향과 속도로 회전시키도록 제어되고, 상기 혼합대상물 용기는 상기 회전기구 위에 고정되어, 기준 각도를 중심으로 소정 각도의 크기로 시계 방향과 반시계 방향의 회전을 반복하도록 제어되어, 상하 진동과 동시에 좌우 왕복 회전운동에 종속되는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 1 항에 있어서,상기 회전기구의 제어는 기준 각도를 중심으로 시계 방향으로 5°회전 및 반시계 방향으로 5°회전을 반복하는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 회전기구 상에 고정된 혼합대상물 용기에 연결되어 혼합대상물 용기를 진공 상태로 만들 수 있는 압력 조절 장치를 더 포함하는 공진 혼합 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 압력 조절 장치는, 상기 혼합대상물 용기의 내부에 연결되도록 구성되는 진공 연결관 및 상기 혼합대상물 용기의 내부를 진공 또는 원하는 압력으로 설정하도록 구성되는 진공 펌프을 포함하는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 회전기구 상에 고정된 혼합대상물 용기에 광을 투사하는 광 발생기를 더 포함하는 공진 혼합 장치
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제 6 항에 있어서, 상기 광 발생기는 복사열로 가열을 하도록 구성되는 광 발생부 및 상기 광 발생부를 상하로 이동시키도록 구성되는 승강장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 1, 2, 4, 5, 6, 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탄성 공진기구는, 양 종단이 상기 공진 모터의 상면과 상기 페이로드 상부 플레이트의 하면에 연결된 제 1 스프링들;양 종단이 상기 공진 모터의 하면과 상기 페이로드 하부 플레이트의 상면에 연결된 제 2 스프링들;상기 공진 모터를 둘러싸고, 상기 페이로드 상부 플레이트와 상기 페이로드 하부 플레이트 사이에 위치한 중간 질량 링;양 종단이 상기 중간 질량 링의 상면과 상기 페이로드 상부 플레이트의 하면에 연결된 제 3 스프링들;양 종단이 상기 중간 질량 링의 하면과 상기 페이로드 하부 플레이트의 상면에 연결된 제 4 스프링들;상기 페이로드 상부 플레이트와 상기 중간 질량 링 사이에 위치하고, 상하 변위가 고정된 상부 고정링;양 종단이 상기 상부 고정링의 상면과 상기 페이로드 상부 플레이트의 하면에 연결된 제 5 스프링들;양 종단이 상기 상부 고정링의 하면과 상기 중간 질량 링의 상면에 연결된 제 6 스프링들;상기 페이로드 하부 플레이트와 상기 중간 질량 링 사이에 위치하고, 상하 변위가 고정된 하부 고정링;양 종단이 상기 하부 고정링의 상면과 상기 중간 질량 링의 하면에 연결된 제 7 스프링들; 및양 종단이 상기 하부 고정링의 하면과 상기 페이로드 하부 플레이트의 상면에 연결된 제 8 스프링들을 포함하는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 페이로드 하부 플레이트에 연결되며, 환형으로 배열된 페이로드 연결 바아들을 더 포함하되,상기 중간 질량 링은 환형 플레이트이고, 내주면에 상기 페이로드 연결 바아들이 끼워지도록 구성되는 페이로드 연결 바아 홈들이 형성된 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제 3 스프링들은 환형으로 배열되며, 상호 간에 동일한 간격을 가지도록 이격되고,상기 제 4 스프링들은 환형으로 배열되며, 상호 간에 동일한 간격을 가지도록 이격된 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 11 항에 있어서,상기 제 5 스프링들 및 제 6 스프링들은 상기 제 3 스프링들 사이에 위치되며,상기 제 7 스프링들 및 제 8 스프링들은 상기 제 4 스프링들 사이에 위치된 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 12 항에 있어서, 상기 제 1 스프링, 제 2 스프링, 제 3 스프링 및 제 4 스프링이 동일한 스프링 계수를 가지며, 상기 제 5 스프링 및 제 8 스프링이 동일한 스프링 계수를 가지고,상기 제 6 스프링 및 제 7 스프링이 동일한 스프링 계수를 가지는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 상부 고정링과 상기 하부 고정링의 외주면에 고정된 지지 바아들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 9 항에 있어서,상기 중간 질량 링은 외주면에 부착되는 추가 하중부를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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페이로드 상부 플레이트;페이로드 상부 플레이트의 아래쪽에 위치한 페이로드 하부 플레이트;페이로드 상부 플레이트와 페이로드 하부 플레이트 사이에 위치한 공진 모터;양 종단이 공진 모터의 상면과 페이로드 상부 플레이트의 하면에 연결된 제 1 스프링들;양 종단이 공진 모터의 하면과 페이로드 하부 플레이트의 상면에 연결된 제 2 스프링들;공진 모터를 둘러싸고, 페이로드 상부 플레이트와 페이로드 하부 플레이트 사이에 위치한 중간 질량 링;양 종단이 중간 질량 링의 상면과 페이로드 상부 플레이트의 하면에 연결된 제 3 스프링들;양 종단이 중간 질량 링의 하면과 페이로드 하부 플레이트의 상면에 연결된 제 4 스프링들;페이로드 상부 플레이트와 중간 질량 링 사이에 위치하고, 상하 변위가 고정된 상부 고정링;양 종단이 상부 고정링의 상면과 페이로드 상부 플레이트의 하면에 연결된 제 5 스프링들;양 종단이 상부 고정링의 하면과 중간 질량 링의 상면에 연결된 제 6 스프링들;페이로드 하부 플레이트와 중간 질량 링 사이에 위치하고, 상하 변위가 고정된 하부 고정링;양 종단이 하부 고정링의 상면과 중간 질량 링의 하면에 연결된 제 7 스프링들; 양 종단이 하부 고정링의 하면과 페이로드 하부 플레이트의 상면에 연결된 제 8 스프링들; 및 상기 페이로드 하부 플레이트에 연결되며, 환형으로 배열된 페이로드 연결 바아들을 포함하고,상기 중간 질량 링은 환형 플레이트이고, 내주면에 상기 페이로드 연결 바아들이 끼워지는 페이로드 연결 바아 홈들이 형성된 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 16 항에 있어서, 제 3 스프링들은 환형으로 배열되며, 상호 간에 동일한 간격을 가지도록 이격되고,제 4 스프링들은 환형으로 배열되며, 상호 간에 동일한 간격을 가지도록 이격된 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 17 항에 있어서,제 5 스프링들 및 제 6 스프링들은 제 3 스프링들 사이에 위치되며,제 7 스프링들 및 제 8 스프링들은 제 4 스프링들 사이에 위치된 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 18 항에 있어서, 제 1 스프링, 제 2 스프링, 제 3 스프링 및 제 4 스프링이 동일한 스프링 계수를 가지며, 제 5 스프링 및 제 8 스프링이 동일한 스프링 계수를 가지고,제 6 스프링 및 제 7 스프링이 동일한 스프링 계수를 가지는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 16 항에 있어서, 상부 고정링과 하부 고정링의 외주면에 고정된 지지 바아들을 더 포함하는 것을 특징으로 공진 혼합 장치
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제 16 항에 있어서,중간 질량 링은 외주면에 부착되는 추가 하중부를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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제 4 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 공진 혼합 장치는 증발기 또는 급속 반응기인 것을 특징으로 하는 공진 혼합 장치
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