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그래핀 합성을 위한 공간이 마련되는 챔버; 및상기 챔버 내부에서 서로 이격되게 배치되어, 상기 챔버 내부를 관통하는 촉매금속을 지지하고 그래핀 합성을 위해 전류를 공급받아 상기 촉매금속을 줄 히팅하는 제1 롤러부 및 제2 롤러부;를 포함하며,상기 제1 롤러부와 상기 제2 롤러부 사이를 통과하는 상기 촉매금속의 온도편차를 보상하기 위하여, 상기 촉매금속이 상기 제1 롤러부와 상기 제2 롤러부 사이에서 하측으로 늘어짐에 따라 상기 제1 롤러부와 가까운 상기 촉매금속의 제1 영역과 상기 제2 롤러부와 가까운 상기 촉매금속의 제2 영역이 서로 마주하는 이동경로를 가지도록 배치되는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 제1 롤러부 및 상기 제2 롤러부의 하측에 배치되어, 상기 제1 롤러부 및 제2 롤러부로부터 상기 촉매금속의 하측으로 늘어진 길이가 기준 처짐길이와 일치하는지 여부를 감지하는 변위센서; 및상기 변위센서로부터 감지된 상기 촉매금속의 늘어진 길이가 기준 처짐길이와 일치되도록 상기 제1 롤러부 또는 상기 제2 롤러부의 회전속도를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 챔버는,상기 촉매금속을 내부로 유입하는 도입부; 및그래핀이 합성된 상기 촉매금속을 외부로 배출하는 퇴출부;를 포함하며,상기 도입부 및 상기 퇴출부에 배치되며, 상기 촉매금속의 이동을 안내하는 동시에 외부 공기의 유입이 차단되도록, 관통하여 이동되는 상기 촉매금속의 표면에 탄성적으로 접촉하는 가이드홀이 구비된 실링가이드;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제4항에 있어서,상기 실링가이드는 상기 촉매금속의 이동방향으로 서로 이격되게 배치되는 한 쌍의 실링가이드를 포함하며,상기 한 쌍의 실링가이드 사이 공간을 진공분위기로 조성하는 보조진공펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제4항에 있어서,상기 실링가이드는,상기 촉매금속이 관통되는 제1 관통홀이 형성된 가이드몸체;상기 촉매금속이 관통되는 제2 관통홀이 형성된 가이드커버;상기 가이드몸체와 상기 가이드커버 사이에 개재되며, 상기 가이드홀이 형성된 실링부재; 및상기 실링부재를 사이에 두고 상기 가이드몸체와 상기 가이드커버를 체결하는 체결부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제4항에 있어서,상기 퇴출부에 배치되는 상기 가이드홀의 크기는 상기 도입부에 배치되는 상기 가이드홀의 크기보다 더 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 챔버 내부에 배치되어, 상기 제1 롤러부 및 상기 제2 롤러부를 통과한 촉매금속의 그래핀 층 상에 보호층을 형성하기 위한 보호필름 공급부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 제1 롤러부와 상기 제2 롤러부를 서로 근접시키거나 이격시키며, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 사이 간격을 조정하는 롤러이동부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조장치
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제1항에 기재된 그래핀 제조장치를 이용하며,상기 챔버 내에 상기 촉매금속을 공급하는 공급단계;상기 제1 롤러부와 상기 제2 롤러부 사이를 통과하는 상기 촉매금속의 온도편차를 보상하기 위하여, 상기 제1 롤러부와 가까운 상기 촉매금속의 제1 영역과 상기 제2 롤러부와 가까운 상기 촉매금속의 제2 영역이 서로 마주하는 이동경로를 가지도록 상기 챔버 내에 상기 촉매금속을 배치하는 배치단계;상기 촉매금속 상에 그래핀을 합성하는 합성단계; 및상기 챔버로부터 상기 그래핀이 합성된 촉매금속을 회수하는 회수단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법
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제10항에 있어서,상기 배치단계는,상기 촉매금속이 상기 제1 롤러부와 상기 제2 롤러부 사이에서 하측으로 늘어짐에 따라 상기 제1 영역과 상기 제2 영역이 서로 마주하는 이동경로를 가지는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법
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제11항에 있어서,상기 배치단계 이후에 수행되며,상기 제1 롤러부 및 상기 제2 롤러부로부터 상기 촉매금속의 하측으로 늘어진 길이가 기준 처짐길이와 일치하는지를 감지하는 감지단계;상기 촉매금속의 늘어진 길이가 기준 처짐길이와 일치되도록 상기 제1 롤러부 또는 상기 제2 롤러부의 회전속도를 제어하는 조정단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법
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제10항에 있어서,상기 합성단계 이후에 수행되며,상기 제1 롤러부 및 상기 제2 롤러부를 통과한 촉매금속의 그래핀 층 상에 보호층을 형성하는 보호필름 형성단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조방법
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