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나노 기공을 갖는 초박막 그래핀 멤브레인 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020008480
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기와 같은 단계를 포함하는 나노 기공을 갖는 초박막 그래핀 멤브레인 제조 방법에 대한 것이다. (a) 금속박의 일면에 식각층 및 마스크층을 순차적으로 증착하는 단계; (b) 어닐링(annealing) 과정을 통해 상기 마스크층이 제거된 부분의 식각층을 식각하는 단계; (c) 상기 단계 (b)에서 식각되어 노출된 금속박 상에 탄소화합물을 부가하여 그래핀층을 형성하는 단계; (d) 상기 그래핀층, 식각층 및 마스크층을 완전히 둘러싸도록 경화제를 부가하여 경화시킨 후, 상기 금속박을 제거하는 단계; (e) 상기 단계 (b)에서 잔존하는 식각층을 식각하는 단계; 및 (f) 상기 경화제를 제거하고 상기 그래핀층을 수득하는 단계
Int. CL B01D 71/02 (2006.01.01) B01D 67/00 (2006.01.01) B01D 53/22 (2006.01.01) B01D 69/10 (2006.01.01) B01D 69/12 (2006.01.01)
CPC B01D 71/021(2013.01) B01D 71/021(2013.01) B01D 71/021(2013.01) B01D 71/021(2013.01) B01D 71/021(2013.01) B01D 71/021(2013.01)
출원번호/일자 1020180167481 (2018.12.21)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0077999 (2020.07.01) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.21)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최종원 대전광역시 유성구
2 김진한 대전광역시 유성구
3 김정근 대전광역시 유성구
4 이계중 세종특별자치시 보람로 *
5 박준수 경기도 군포시 당정역로**번길 * (
6 윤형철 대전광역시 유성구
7 조종표 대전광역시 유성구
8 김선형 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인명륜 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***. *층*호(역삼동, 오성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-1291834-56
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0012685-78
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2020.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2020-0103749-99
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0255728-52
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0523270-61
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2020-0523289-27
11 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2020.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0554064-24
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2020-0895795-98
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.08.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0895692-94
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
15 등록결정서
Decision to grant
2020.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0853192-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 금속박의 일면에 식각층 및 마스크층을 순차적으로 증착하는 단계;(b) 어닐링(annealing) 과정을 통해 상기 마스크층이 제거된 부분의 식각층을 식각하는 단계;(c) 상기 단계 (b)에서 식각되어 노출된 금속박 상에 탄소화합물을 부가하여 그래핀층을 형성하는 단계;(d) 상기 그래핀층, 식각층 및 마스크층을 완전히 둘러싸도록 경화제를 부가하여 경화시킨 후, 상기 금속박을 제거하는 단계;(e) 상기 단계 (b)에서 잔존하는 식각층을 식각하는 단계; 및(f) 상기 경화제를 제거하고 상기 그래핀층을 수득하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 기공을 갖는 초박막 그래핀 멤브레인 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 단계 (a) 내지 단계 (c)는 감압 챔버 내에서 진행되는 것을 특징으로 하는 나노 기공을 갖는 초박막 그래핀 멤브레인 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 단계 (b)의 식각하는 단계는 아르곤 기체를 플라즈마 형태로 공급해주는 챔버 내에서 진행되는 것을 특징으로 하는 나노 기공을 갖는 초박막 그래핀 멤브레인 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 탄소화합물은 아르곤, 수소 및 에틸렌을 포함하는 혼합 가스로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 기공을 갖는 초박막 그래핀 멤브레인 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 단계 (d)의 금속박 제거 단계는 에칭에 의해 진행되는 것을 특징으로 하는 나노 기공을 갖는 초박막 그래핀 멤브레인 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 단계 (f)의 경화제 제거는, 아르곤 및 수소를 포함하는 혼합 가스가 주입된 챔버에서 가열에 의해 진행되는 것을 특징으로 하는 나노 기공을 갖는 초박막 그래핀 멤브레인 제조 방법
7 7
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 나노 기공을 갖는 초박막 그래핀 멤브레인 제조 방법에 의해 제조된 여과막으로서,상기 여과막은 그래핀으로 구성된 층상 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세먼지 슬러리 처리를 위한 여과막
8 8
제7항에 있어서, 상기 여과막은 아르곤, 수소 및 에틸렌을 포함하는 혼합가스를 사용하여 제조되는 것을 특징으로 하는 미세먼지 슬러리 처리를 위한 여과막
9 9
제7항에 있어서, 상기 여과막의 두께는 1 nm 내지 5 nm인 것을 특징으로 하는 미세먼지 슬러리 처리를 위한 여과막
10 10
제7항에 있어서, 상기 여과막은 20 나노미터 이하의 포어가 형성된 것을 특징으로 하는 미세먼지 슬러리 처리를 위한 여과막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국에너지기술연구원 주요사업(구, 기본사업) 초미세먼지/Nox/Sox 동시 저감을 위한 초청정 플랫폼 기술 개발 및 실증 (배가스 동시저감을위한 이온응집 올인원 스크러버 개발)