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대면적 열보조 패턴 전사 프린팅 방법

  • 기술번호 : KST2020008565
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 대면적 패턴 전사 프린팅 방법이 제공된다. 상기 대면적 패턴 전사 프린팅 방법은 마스터 패턴을 포함하는 마스터 기판을 준비하는 단계, 상기 마스터 기판 상에 레플리카(replica) 물질을 제공한 후 경화시켜, 상기 마스터 패턴의 역상을 갖는 레플리카 패턴이 형성된 레플리카 필름을 제조하는 단계, 상기 레플리카 패턴 상에 기능성(functional) 물질을 제공하는 단계, 및 상기 기능성 물질을 타겟(target) 기판 상에 전사하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) G03F 3/10 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/2018(2013.01) G03F 7/2018(2013.01) G03F 7/2018(2013.01) G03F 7/2018(2013.01) G03F 7/2018(2013.01)
출원번호/일자 1020180141718 (2018.11.16)
출원인 한국세라믹기술원, 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단
등록번호/일자 10-2186501-0000 (2020.11.27)
공개번호/일자 10-2020-0057389 (2020.05.26) 문서열기
공고번호/일자 (20201203) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.16)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박운익 경상남도 진주시 소호로 *
2 박태완 경상남도 진주시 소호로 *
3 최영중 경상남도 진주시 소호로 *
4 김광호 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
2 최내윤 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 ** *동 ***호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-1142883-22
2 보정요구서
Request for Amendment
2018.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0183583-05
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-1187555-50
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-1194647-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0288059-88
6 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-0642729-28
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-0772115-76
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.07.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0772119-58
9 등록결정서
Decision to grant
2020.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0810301-90
10 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
2020.12.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-5030889-10
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마스터 패턴을 포함하는 마스터 기판을 준비하는 단계;상기 마스터 기판 상에 레플리카(replica) 물질을 제공한 후 경화시켜, 상기 마스터 패턴의 역상을 갖는 레플리카 패턴이 형성된 레플리카 필름을 제조하는 단계;상기 레플리카 패턴 상에 열처리에 의하여 특성이 변화되는 기능성(functional) 물질을 제공하는 단계; 상기 기능성 물질이 제공된 상기 레플리카 필름 및 타겟 기판(target)을 접촉시키되, 상기 레플리카 필름 및 상기 타겟 기판이, 열처리된 제1 상부 롤 및 냉각된 제2 상부 롤을 포함하는 상부 롤과 열처리된 제1 하부 롤 및 냉각된 제2 하부 롤을 포함하는 하부 롤 사이에 제공되어 압착되는 단계; 및상기 상부 롤 및 상기 하부 롤이 상기 레플리카 필름 및 상기 타겟 기판을 압착한 후, 상기 상부 롤 및 상기 하부 롤은 각각, 상기 레플리카 필름 및 상기 타겟 기판에 인가되는 압력이 제거되도록 이동되고, 상기 타겟 기판으로부터 상기 레플리카 필름을 제거하여, 상기 기능성 물질을 상기 타겟 기판 상에 전사하는 단계를 포함하되, 상기 레플리카 필름 및 상기 타겟 기판이 상기 상부 롤 및 상기 하부 롤 사이에 제공되어 압착되는 단계에서, 상기 상부 롤 및 상기 하부 롤은 각각 상기 레플리카 필름 및 상기 타겟 기판과 인접하도록 이동되어, 상기 제1 상부 롤 및 상기 제1 하부 롤이 마주보고 상기 제2 상부 롤 및 상기 제2 하부 롤이 마주보도록 압착하고, 상기 제1 상부 롤, 상기 제2 상부 롤, 상기 제1 하부 롤, 및 상기 제2 하부 롤이 상기 레플리카 필름 및 상기 타겟 기판에 압력을 인가하기 위한 이동과 상기 레플리카 필름 및 상기 타겟 기판에 인가되는 압력을 제거하기 위한 이동은 각각 개별적으로 제어되며, 상기 기능성 물질을 상기 타겟 기판 상에 전사하는 단계에서, 서로 다른 특성을 나타내는 제1 및 제2 기능성 물질이 상기 타겟 기판 상에 나란히 교대로 전사되는 것을 포함하는 대면적 패턴 전사 프린팅 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 레플리카 필름을 제조하는 단계는, 상기 마스터 기판 상에 상기 레플리카 물질을 제공하는 단계; 상기 레플리카 물질을 경화시키는 단계; 경화된 상기 레플리카 물질 상에 접착 필름을 제공하는 단계; 및상기 접착 필름을 이용하여, 경화된 상기 레플리카 물질 및 상기 마스터 기판을 분리하는 단계를 포함하는 대면적 패턴 전사 프린팅 방법
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제2 항에 있어서, 경화된 상기 레플리카 물질 상에 상기 접착 필름을 제공하는 단계는, 경화된 상기 레플리카 물질이 제공된 상기 마스터 기판 및 상기 접착 필름이, 상기 상부 롤 및 상기 하부 롤 사이에 제공되어 압착되는 것을 포함하는 대면적 패턴 전사 프린팅 방법
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삭제
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삭제
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제1 항에 있어서,상기 제1 상부 롤 및 상기 제1 하부 롤에 의한 압착과 상기 제2 상부 롤 및 상기 제2 하부 롤에 의한 압착은 교대로 수행되는 것을 포함하는 대면적 패턴 전사 프린팅 방법
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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