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1000℃ 이하의 저온에서 소결가능한 저온동시소결(LTCC)용 복합체에 있어서,세라믹 입자들이 3차원적으로 서로 연결되어있는 3차원 네트워크 구조의 기지상과;상기 기지상의 공극부를 채운 글라스상을 포함하는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체
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제1항에 있어서,상기 세라믹 입자들의 조성은 알루미나(Al2O3), 질화알루미늄(AlN) 및 질화실리콘(Si3N4) 중의 하나 이상인 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체
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제1항에 있어서,상기 세라믹 입자들의 형상은 구상인 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체
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제1항에 있어서,상기 복합체는 10W/m·K 이상의 열전도도를 갖는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체
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1000℃ 이하의 저온에서 소결가능한 저온동시소결(LTCC)용 복합체의 제조방법에 있어서,세라믹 분말입자들을 포함하는 세라믹 시트를 제조하는 단계와;상기 세라믹 시트를 1차 열처리함으로써 상기 세라믹 시트 내에 상기 세라믹 분말입자들이 3차원 네트워크 구조로 서로 연결되는 기지층을 형성하는 단계와;상기 세라믹 시트의 적어도 일 면상에 글라스 층을 형성하는 단계와;상기 글라스 층이 형성된 상기 세라믹 시트를 2차 열처리함으로써 용융된 글라스가 상기 기지층 내의 공극부에 주입되도록 하여 상기 복합체를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 1차 열처리는 상기 기지층이 29~41% 범위의 기공율을 갖도록 조절되는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 1차 열처리는 상기 기지층이 50~70% 범위의 상대밀도를 갖도록 조절되는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 1차 열처리는 1300~1550℃ 범위로 수행되는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 세라믹 분말입자들의 조성은 알루미나(Al2O3), 질화알루미늄(AlN) 및 질화실리콘(Si3N4) 중에서 하나 이상 선택되는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 세라믹 시트의 적어도 일 면상에 글라스 층을 형성하는 단계는상기 글라스를 글라스 시트 또는 글라스 페이스트로 형성하는 단계와;상기 글라스 시트를 상기 세라믹 시트의 적어도 일 면상에 적층하거나 또는 상기 글라스 페이스트를 상기 세라믹 시트의 적어도 일 면상에 도포함으로써 상기 글라스 층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 세라믹 시트의 적어도 일 면상에 글라스 층을 형성하는 단계는 상기 글라스 층을 형성한후 상기 2차 열처리를 가하기 이전에 상기 적어도 일 면상에 글라스 층이 형성된 상기 세라믹 시트를 압착하고 건조하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 글라스 층에서 글라스 고형분의 총량은 상기 글라스가 상기 공극부를 최대로 채우도록 조절되는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 글라스 층은 상기 세라믹 시트의 상면 및 하면 상에 각각 형성되고, 하측의 상기 글라스 층의 두께는 상측의 상기 글라스 층의 두께보다 더 얇게 형성되는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 2차 열처리는 515~925℃ 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 2차 열처리는 진공 소결로 내에서 수행되는 것을 특징으로 하는 저온동시소결용 복합체의 제조방법
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