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세라믹 그린시트의 소결을 위해 열처리 수단 내에서 상기 세라믹 그린시트와 함께 적층되어 열처리되는 소성용 적층 구조체에 있어서,상기 세라믹 그린시트의 상면 및 하면과 각각 이종계면을 이루도록 상기 세라믹 그린시트의 상면 및 하면 상에 각각 적재되고, 5 이상의 형상 종횡비를 갖는 판상의 육방정계 질화보론(h-BN) 분말입자로 구성된 한 쌍의 h-BN 그린시트 버퍼와;상기 세라믹 그린시트의 하면과 이종계면을 이루는 상기 h-BN 그린시트 버퍼를 하측에서 지지하는 소성 지지체와;상기 세라믹 그린시트의 상면과 이종계면을 이루는 상기 h-BN 그린시트 버퍼의 상면 상에 적재되어 상기 열처리 동안 상기 세라믹 그린시트에 자신의 중력 하중을 인가하는 부하 커버를 포함한 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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적층된 복수의 세라믹 그린시트의 소결을 위해 열처리 수단 내에서 상기 복수의 세라믹 그린시트와 함께 적층되어 열처리되는 소성용 적층 구조체에 있어서,상기 세라믹 그린시트 각각의 상면 및 하면과 각각 이종계면을 이루도록 상기 복수의 세라믹 그린시트 간에 각각 개재되고 상기 복수의 세라믹 그린시트 중 최상에 위치한 세라믹 그린시트의 상면 및 상기 복수의 세라믹 그린시트 중 최하에 위치한 세라믹 그린시트의 하면 상에 각각 적재되되, 5 이상의 형상 종횡비를 갖는 판상의 육방정계 질화보론(h-BN) 분말입자로 구성된 복수의 h-BN 그린시트 버퍼와;상기 복수의 세라믹 그린시트 중 최하에 위치한 세라믹 그린시트의 하면과 이종계면을 이루는 상기 h-BN 그린시트 버퍼를 하측에서 지지하는 소성 지지체와;상기 복수의 세라믹 그린시트 중 최상에 위치한 세라믹 그린시트의 상면과 이종계면을 이루는 상기 h-BN 그린시트 버퍼의 상면 상에 적재되어 상기 열처리 동안 상기 복수의 세라믹 그린시트에 자신의 중력 하중을 인가하는 부하 커버를 포함한 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 육방정계 질화보론(h-BN)의 분말입자의 직경은 30㎚~20㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 h-BN 그린시트 버퍼의 두께는 10~100㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 h-BN 그린시트 버퍼 및 상기 세라믹 그린시트는 각각 유기 바인더 조성물을 함유하고, 상기 h-BN 그린시트 버퍼 내의 유기 바인더 조성물은 상기 세라믹 그린시트 내의 유기 바인더 조성물보다 더 낮은 열분해 온도를 갖는 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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제7항에 있어서,상기 h-BN 그린시트 버퍼 내의 유기 바인더 조성물의 열분해 온도는 상기 세라믹 그린시트 내의 유기 바인더 조성물의 열분해 온도보다 50~100℃ 범위만큼 더 낮은 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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제7항에 있어서,상기 h-BN 그린시트 버퍼 내의 유기 바인더 조성물은 300℃ 이하의 범위에서 열분해되고, 상기 세라믹 그린시트 내의 유기 바인더 조성물은 350~400℃ 범위에서 열분해되는 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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제7항에 있어서,상기 h-BN 그린시트 버퍼 내의 유기 바인더 조성물은 폴리프로필렌 카르보네이트(polypropylene carbonate: PPC) 및 폴리에틸렌 카르보네이트(polyethylene carbonate: PEC) 중에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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제7항에 있어서,상기 세라믹 그린시트 내의 유기 바인더 조성물은 폴리비닐 부티랄(polyvinyl butyral: PVB), 폴리비닐알콜(polyvinyl alcohol: PVA), 폴리비닐 아세테이트(polyvinyl acetate), 폴리스틸렌(polystylene), 히드록시 에틸셀룰로스(hydroxy ethylcellulose), 폴리메틸 메타크릴산(polymethyl methacrylic acid: PMMA), 및 메틸셀룰로스(methylcellulose)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 소성 지지체 및 상기 부하 커버는 지르코니아, 알루미나, 실리카 및 마그네시아로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 소성용 적층 구조체
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세라믹 분말입자의 슬러리로부터 후막 제조된 세라믹 그린시트를 소결하여 박형 세라믹 기판을 제조하는 방법에 있어서,소성 지지체를 적재하는 단계와;상기 소성 지지체 상에 5 이상의 형상 종횡비를 갖는 판상의 육방정계 질화보론(h-BN) 분말입자의 슬러리로부터 후막 제조된 제1 h-BN 그린시트 버퍼를 적재하는 단계와;상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼 상에 상기 세라믹 그린시트를 적재하는 단계와;상기 세라믹 그린시트 상에 상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼와 동일한 제2 h-BN 그린시트 버퍼를 적재하는 단계와;상기 제2 h-BN 그린시트 버퍼 상에 상기 세라믹 그린시트에 자신의 중력 하중을 인가하는 부하 커버를 적재하는 단계와;상기 세라믹 그린시트를 소결하여 박형 세라믹 기판을 제조하는 단계와;상기 소결하는 단계의 종료후, 상기 소성 지지체와 상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼 및 제2 h-BN 그린시트 버퍼를 상기 박형 세라믹 기판으로부터 분리하고, 상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼 및 제2 h-BN 그린시트 버퍼를 재활용을 위하여 슬러리로 제조하는 것을 특징으로 하는 방법
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제13항에 있어서,상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼의 상기 후막 제조하는 단계는상기 h-BN 분말입자와 용제 및 분산제를 혼합하여 예비 슬러리를 제조하는 단계와;상기 예비 슬러리에 유기 바인더 및 가소제를 첨가하여 상기 h-BN 분말입자의 슬러리를 제조하는 단계와;상기 h-BN 분말입자의 슬러리를 탈포하고 성형 또는 캐스팅하여 후막시트를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제13항에 있어서,상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼 및 제2 h-BN 그린시트 버퍼와 상기 세라믹 그린시트는 각각 유기 바인더 조성물을 함유하고, 상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼 및 제2 h-BN 그린시트 버퍼에 함유된 유기 바인더 조성물은 상기 세라믹 그린시트에 함유된 유기 바인더 조성물보다 더 낮은 열분해 온도를 갖도록 선택되고,상기 세라믹 그린시트를 소결하는 단계는상기 소결을 위하여 인가되는 온도가 상승함에 따라 상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼 및 제2 h-BN 그린시트 버퍼 각 내부의 유기 바인더 조성물이 열분해되어 탈거되면서 상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼 및 제2 h-BN 그린시트 버퍼 각 내부에 공극들을 형성하고 상기 공극들은 가스 순환 경로를 형성하는 단계와;상기 인가되는 온도가 더 상승함에 따라 상기 세라믹 그린시트 내부의 유기 바인더 조성물이 열분해되면서 발생하는 가스가 상기 가스 순환 경로를 통해 상기 세라믹 그린시트의 외부로 배출되고 동시에 외부의 분위기 가스가 상기 가스 순환 경로를 통해 상기 세라믹 그린시트의 내부로 유입되는 단계와;상기 세라믹 그린시트 내부에 발생하는 유기물 열분해 잔류물이 상기 가스 순환 경로를 통해 외부로 배출되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제16항에 있어서,상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼 및 제2 h-BN 그린시트 버퍼 각 내부의 유기 바인더 조성물은 상기 세라믹 그린시트 내부의 유기 바인더 조성물보다 50~100℃ 범위만큼 더 낮은 열분해 온도를 갖도록 선택되는 것을 특징으로 하는 방법
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제16항에 있어서,상기 제1 h-BN 그린시트 버퍼 및 제2 h-BN 그린시트 버퍼 각 내부의 유기 바인더 조성물은 300℃ 이하의 범위에서 열분해되고, 상기 세라믹 그린시트 내부의 유기 바인더 조성물은 350~400℃ 범위에서 열분해되는 것을 특징으로 하는 방법
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