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용매에 Y(NO3)3·nH2O(n은 1 내지 9 사이의 자연수)가 용해된 이트륨 소스 용액과, PVP(Polyvinylidene pyrrolidone) 및 PVA(Poly vinyl alcohol)로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질을 포함하는 액상의 출발원료를 준비하는 단계;상기 출발원료를 시료챔버로 공급하는 단계;초음파를 이용하여 상기 출발원료를 액적 상태로 활성화시키는 단계; 운반가스를 상기 시료챔버로 공급하여, 상기 액적을 미리 가열된 반응로에 분무시키는 단계; 상기 반응로에서 상기 액적이 열분해되고 산화 반응되는 단계; 상기 반응로를 통과하여 열분해되어 생성된 이트리아 분말을 포집기에서 포집하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이트리아 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 운반가스는 비활성 가스를 사용하고, 상기 운반가스의 공급 유량은 1∼20ℓ/min 범위로 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 이트리아 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 초음파는 복수 개의 초음파 진동자에 의해 발생되고, 복수 개의 초음파 진동자를 선택적으로 제어하여 초음파의 강도를 조절하며, 상기 초음파의 진동수는 1
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제1항에 있어서, 상기 반응로 내의 온도는 700∼1000℃를 이루게 하는 것을 특징으로 하는 이트리아 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 포집기에 연통된 펌핑부에 의해 상기 반응로에서 합성된 이트리아 분말이 상기 포집기로 흐르도록 유도하며, 상기 펌핑부에 의한 펌핑 압력은 1∼12psi인 것을 특징으로 하는 이트리아 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 포집기의 둘레에 구비된 냉각 실린더 내부를 냉각수가 순환되게 하여 이트리아 분말이 응축되어 포집기에 달라붙어 포집되게 하는 것을 특징으로 하는 이트리아 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 PVP 및 PVA로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 물질은 상기 출발원료에 0
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제1항에 있어서, 상기 Y(NO3)3·nH2O(n은 1 내지 9 사이의 자연수)은 상기 이트륨 소스 용액에 10∼30중량% 함유되는 것을 특징으로 하는 이트리아 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 출발원료는 젤라틴(gelatin)을 더 포함하고, 상기 젤라틴은 상기 출발원료에 0
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제1항에 있어서, 상기 출발원료는 설탕을 더 포함하고, 상기 설탕은 상기 출발원료에 0
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