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기판 상에 제1 고분자 및 제2 고분자를 포함하는 소스 용액을 제공하는 단계; 상기 소스 용액이 제공된 상기 기판을 열처리하여, 상기 기판 상에 상기 제1 고분자가 자기조립(self-assembly)된 복수의 베이스 패턴, 및 상기 베이스 패턴을 덮고 상기 제2 고분자를 포함하는 베이스막을 형성하는 단계; 상기 베이스 패턴에 금속 이온을 침투시켜, 예비 가이드 패턴을 형성하는 단계; 상기 예비 가이드 패턴에 포함된 상기 금속 이온을 환원시켜, 상기 기판 상에 상기 금속 이온이 환원된 금속을 포함하는 가이드 패턴을 형성하는 단계; 및상기 가이드 패턴을 디웨팅(dewetting)시켜, 상기 기판 상에 복수의 닷(dot)들이 서로 이격되어 집합된 타겟 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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제1 항에 있어서, 상기 예비 가이드 패턴을 형성하는 단계는, 상기 베이스 패턴, 및 상기 베이스막이 형성된 상기 기판을 산(acid)처리하는 단계; 및산처리된 상기 베이스 패턴에 상기 금속 이온을 제공하는 단계를 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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제2 항에 있어서, 상기 예비 가이드 패턴은, 산처리된 상기 베이스 패턴의 적어도 일 부분이 부풀어올라(swelling) 형태가 변형된 복수의 베이스 구조체를 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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제1 항에 있어서, 상기 예비 가이드 패턴은 상기 금속 이온의 농도가 서로 다른 제1 및 제2 예비 가이드 영역으로 구분되고, 상기 가이드 패턴은 상기 금속의 농도가 서로 다른 제1 및 제2 가이드 영역으로 구분되는 것을 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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제1 항에 있어서, 상기 가이드 패턴을 형성하는 단계는, 상기 예비 가이드 패턴, 및 상기 베이스막을 플라즈마 처리하는 단계를 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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제5 항에 있어서, 상기 플라즈마는 O2 플라즈마를 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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제5 항에 있어서, 상기 베이스막이 플라즈마 처리되는 경우, 상기 예비 가이드 패턴의 상기 제1 고분자, 및 상기 제2 고분자로 형성된 상기 베이스막이 제거되고, 상기 예비 가이드 패턴의 잔존된 상기 금속 이온이 환원되어 상기 가이드 패턴이 형성되는 것을 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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8
제1 항에 있어서, 상기 금속 이온은, [MCl4]n-(M=Au, Pd, 또는 Pt 중 어느 하나, n003e#0)의 형태로 제공되는 것을 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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제1 항에 있어서, 상기 타겟 패턴은, 복수의 닷(dot)들이 서로 이격되어 집합된 것을 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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10
제1 항에 있어서, 상기 제1 고분자는 P2VP, 또는 PDMS 중 어느 하나를 포함하고, 상기 제2 고분자는 PS를 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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11
기판 상에 제1 고분자 및 제2 고분자를 포함하는 소스 용액을 제공하는 단계; 상기 소스 용액이 제공된 상기 기판을 열처리하여, 상기 기판 상에 상기 제1 고분자가 자기조립(self-assembly)된 복수의 베이스 패턴, 및 상기 베이스 패턴을 덮고 상기 제2 고분자를 포함하는 베이스막을 형성하는 단계; 상기 베이스 패턴에 제1 및 제2 금속 이온을 침투시켜, 예비 가이드 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 및 제2 금속 이온을 환원시켜, 상기 기판 상에 상기 제1 및 제2 금속 이온이 환원된 제1 및 제2 금속을 포함하되, 상기 제1 금속 및 상기 제2 금속이 혼재된 가이드 패턴을 형성하는 단계; 및상기 가이드 패턴을 디웨팅(dewetting)시켜, 상기 기판 상에 복수의 닷(dot)들이 서로 이격되어 집합된 타겟 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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제11 항에 있어서, 상기 닷(dot)은, 상기 제1 금속의 비율이 상기 제2 금속의 비율보다 높은 제1 금속 영역, 및 상기 제2 금속의 비율이 상기 제1 금속의 비율보다 높은 제2 금속 영역을 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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제11 항에 있어서, 상기 복수의 닷(dot)은, 상기 가이드 패턴이 연장되는 방향과 동일한 방향으로 정렬되는 것을 포함하는 블록공중합체 기반 금속 미세패턴의 제조방법
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