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질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020008602
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, AlN 분말, Y2O3 분말 및 MgO 분말을 용매에 혼합하여 슬러리를 형성하는 단계와, 상기 슬러리를 건조하여 복합분말을 형성하는 단계와, 상기 복합분말을 성형하는 단계 및 성형된 결과물을 소결하는 단계를 포함하는 질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, MgO 분말을 첨가함으로써 입계(grain boundary)에 의한 저항을 증가시켜 전체적으로 전기저항이 높은 질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스를 제조할 수 있다.
Int. CL C04B 35/581 (2006.01.01) C04B 35/626 (2006.01.01) C04B 35/64 (2006.01.01) C04B 41/00 (2006.01.01)
CPC C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01)
출원번호/일자 1020180160560 (2018.12.13)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0073307 (2020.06.24) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.13)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종영 서울특별시 송파구
2 황광택 서울특별시 송파구
3 유동수 경기도 남양주시 도농로

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-1250514-56
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.03.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0061469-36
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0219745-95
5 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0552643-67
6 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0680729-19
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.07.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0762696-91
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.07.22 수리 (Accepted) 1-1-2020-0762727-18
9 등록결정서
Decision to grant		 2020.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0589404-64
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번호 청구항
1 1
(a) AlN 분말, Y2O3 분말 및 MgO 분말을 용매에 혼합하여 슬러리를 형성하는 단계;(b) 상기 슬러리를 건조하여 복합분말을 형성하는 단계;(c) 상기 복합분말을 성형하는 단계; 및(d) 성형된 결과물을 1500∼1620℃의 소결온도에서 산화 분위기에서 소결하는 단계를 포함하며,상기 소결 후에 상기 소결온도보다 낮은 온도에서 산화 분위기에서 어닐링(Annealing)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 Ta2O5 분말을 더 혼합하여 상기 슬러리를 형성하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 WO3 분말을 더 혼합하여 상기 슬러리를 형성하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 TiO2 분말을 더 혼합하여 상기 슬러리를 형성하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 HfO2 분말을 더 혼합하여 상기 슬러리를 형성하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 SrO 분말을 더 혼합하여 상기 슬러리를 형성하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 Y2O3 분말은 상기 AlN 분말 100중량부에 대하여 0
8 8
제1항에 있어서, 상기 MgO 분말은 상기 AlN 분말 100중량부에 대하여 0
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
제1항에 있어서, 상기 어닐링은 1300∼1550℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄-이트리아 복합 세라믹스의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주) 미코 산업기술혁신사업(전략적핵심소재기술개발사업) 3D-1xnm급 반도체 공정용 내플라즈마성 1016,1010,103 ohm-cm급 세라믹 복합소재 및 온도 제어 기능성 부품 개발