맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

중고온에서 높은 비저항을 갖는 정전척용 질화알루미늄 소결체의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020008603
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 AlN 분말, Y2O3, TiO2 및 우레아(Urea)를 혼합한 조성물을 가압소결하여 질화알루미늄 소결체를 제조하는 방법 및 이에 의해 제조된 질화알루미늄 소결체에 관한 것이다. 본 발명의 첨가제는 AlN에 함유된 불순물인 Al2O3를 감소시킬 수가 있고, 고온에서 캐리어(carrier)로 작용하는 Al 공공(vacancy)의 감소를 유도하여 고온에서 높은 비저항을 가지며, TiO2 첨가제에 의해 증가하는 활성화 에너지를 감소시켜 중고온에서 높은 체적저항을 갖는 질화알루미늄 소결체를 제조할 수 있다.
Int. CL C04B 35/581 (2006.01.01) C04B 35/645 (2006.01.01) C04B 35/626 (2006.01.01) C04B 35/63 (2006.01.01) C04B 35/632 (2006.01.01) H01L 21/683 (2006.01.01)
CPC C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01)
출원번호/일자 1020180162075 (2018.12.14)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0073663 (2020.06.24) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.14)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종영 서울특별시 송파구
2 이은실 경기도 이천시 원적로 **
3 황광택 서울특별시 송파구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인오암 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-1259164-23
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.03.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0057447-93
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0222069-10
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.05.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0511069-64
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-0511070-11
7 등록결정서
Decision to grant		 2020.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0473623-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
잔량의 AlN 분말, 3~7 wt%의 Y2O3, 0
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 가압소결은 1650∼1900℃의 온도 범위에서 10∼30MPa의 압력을 인가하면서 수행하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 가압소결은 비활성 가스 분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 가압소결은, 상기 우레아(Urea)를 열분해시키기 위하여 1350∼1550℃의 제1 온도까지 승온하는 단계;상기 제1 온도에서 유지하는 단계;상기 제1 온도보다 높은 1600∼1800℃의 제2 온도까지 승온하는 단계; 및 상기 제2 온도에서 유지하면서 가압하여 소결하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소결체의 제조방법
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
제1항에 기재된 방법으로 제조된 소결체로서, 잔량의 AlN 분말, 3~7 wt%의 Y2O3, 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주) 미코 산업기술혁신사업(전략적핵심소재기술개발사업) 3D-1xnm급 반도체 공정용 내플라즈마성 1016,1010,103 ohm-cm급 세라믹 복합소재 및 온도 제어 기능성 부품 개발