| 1 |
1
기판 상에 제공되는 입방정 스피넬(Cubic spinel) 결정 구조의 산화물층을 포함하고,상기 산화물층은,니켈, 망간 및 구리를 함유하는 (Ni,Mn,Cu)3O4계 모체; 및상기 모체에 첨가되는 온도가 변하는 경우에도 원자가 상태를 유지하는 원소인 제1 첨가제와 온도 변화에 따라 원자가가 변하는 원소인 제2 첨가제를 포함하며,상기 제1 첨가제 내지 제2 첨가제는 상기 입방정 스피넬 결정 구조의 팔면체 자리에 위치하는 망간과 치환되고,상기 제2 첨가제는 상기 모체의 전체 중량에 대해 1wt% 내지 3wt%의 함량으로 첨가되는 볼로미터용 산화물 저항 박막
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 제1 첨가제는 붕소, 아연, 갈륨, 인듐, 마그네슘, 스칸듐 및 베릴륨 중 적어도 어느 하나의 원소를 포함하는 볼로미터용 산화물 저항 박막
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서,상기 제2 첨가제는 크롬, 비스무트, 텅스텐 중 적어도 어느 하나의 원소를 포함하는 볼로미터용 산화물 저항 박막
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 제1 첨가제는 상기 모체의 전체 중량에 대해 8wt% 내지 12wt%의 함량으로 첨가되는 볼로미터용 산화물 저항 박막
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서,상기 산화물 저항 박막은,절대값이 2
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서,상기 산화물 저항 박막은 20Ω·cm 이하의 비저항을 갖는 볼로미터용 산화물 저항 박막
|
| 8 |
8
청구항 1에 있어서,상기 기판 및 산화물층 사이에 제공되고, 니켈, 망간 및 구리 중 적어도 어느 하나의 금속 산화물로 이루어진 산화물 시드층을 더 포함하는 볼로미터용 산화물 저항 박막
|
| 9 |
9
청구항 1에 있어서,상기 볼로미터용 산화물 저항 박막의 두께는 40nm 내지 100nm인 볼로미터용 산화물 저항 박막
|
| 10 |
10
온도가 변하는 경우에도 원자가 상태를 유지하는 원소인 제1 첨가제와 온도 변화에 따라 원자가가 변하는 원소인 제2 첨가제를 방향족 탄화수소계 유기용매에 용해시켜 첨가제 용액을 준비하는 과정;산화니켈 유기화합물, 산화망간 유기화합물 및 산화구리 유기화합물을 방향족 탄화수소계 유기용매에 용해시켜 예비 전구체 용액을 준비하는 과정;상기 첨가제 용액과 예비 전구체 용액을 혼합하여 혼합용액을 제조하는 과정;상기 혼합용액을 아세트산 에스테르계 유기용매에 희석하여 전구체 용액을 제조하는 과정,기판 상에 상기 전구체 용액을 이용하여 액상 공정으로 전구체층을 형성하는 과정; 및상기 전구체층을 산화 분위기에서 후속 열처리하여 산화물층으로 변화하는 과정을 포함하고,상기 산화물층은 니켈, 망간 및 구리를 함유하는 (Ni,Mn,Cu)3O4계 모체; 및상기 모체에 첨가되는 상기 제1 첨가제와 상기 제2 첨가제를 포함하고,상기 제2 첨가제는 상기 모체의 전체 중량에 대해 1wt% 내지 3wt%의 함량으로 첨가되는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
|
| 11 |
11
청구항 10에 있어서,상기 후속 열처리는 280℃ 내지 380℃의 온도 범위에서 수행되는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
|
| 12 |
12
청구항 11에 있어서,상기 전구체층을 형성하는 과정 이전에,상기 기판 상에 니켈, 망간 및 구리 중 적어도 어느 하나의 금속을 포함하는 금속층을 형성하는 과정; 및상기 후속 열처리보다 낮은 온도에서 상기 금속층을 예비 열처리하여 산화물 시드층으로 변화시키는 과정을 더 포함하는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
|
