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서로 다른 소재로 이루어진 외부 용기와 내부 용기를 포함하며, 단결정 원료의 수용 공간을 제공하는 도가니;상기 도가니의 둘레에 제공되어, 상기 도가니를 가열하는 가열부; 및상기 내부 용기의 내측면 중 적어도 일부에 제공되어, 상기 도가니의 가열에 의해 용융된 상기 단결정 원료의 용융액에 적어도 부분적으로 용해되는 용해부재;를 포함하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 내부 용기는 석영 또는 스테인레스 재질로 이루어진 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 용해부재는 상기 단결정 원료의 용융액의 표면보다 낮은 위치에 제공되는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 용해부재의 표면과 상기 내부 용기의 내측면은 평탄면을 형성하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 내부 용기의 입구를 통해 상하방향으로 이동 가능하게 제공되며, 하단에 종자결정이 부착되는 시드 샤프트;를 더 포함하고,상기 내부 용기의 두께는 상기 종자결정의 폭에 비례하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 5에 있어서,상기 용해부재와 상기 종자결정은 적어도 하나의 동일한 원소를 포함하는 단결정 용액성장 장치
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서로 다른 소재로 이루어진 외부 용기와 내부 용기를 포함하는 도가니를 마련하는 과정;상기 내부 용기의 내측면에 용해부재를 제공하는 과정;상기 내부 용기의 내부에 단결정 원료를 장입하는 과정;상기 도가니를 가열하여 상기 단결정 원료를 용융시키는 과정;상기 용해부재의 적어도 일부가 상기 단결정 원료의 용융액에 용해되는 과정; 및상기 단결정 원료의 용융액 표면에 접촉되는 시드 샤프트 하단의 종자결정에 단결정이 성장하는 과정;을 포함하는 단결정 용액성장 방법
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청구항 7에 있어서,상기 용융액에 용해되고 남은 상기 용해부재를 상기 내부 용기의 내측면으로부터 분리하는 과정;을 더 포함하는 단결정 용액성장 방법
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