| 1 |
1
하기 화학식 1의 화합물로 표시되는 하프늄 카바이드 세라믹 전구체를 제조하기 위한 모노머:[화학식 1] 상기 식에서, R 및 R`는 각각 서로 같거나 다른 수소 또는 C1 내지 C6의 알킬기이다
|
| 2 |
2
(i) 하프늄(Hf) 할라이드 화합물 및 아민 함유 화합물을 반응시켜 하기 화학식 1의 화합물로 표시되는 하프늄 카바이드 세라믹 전구체의 모노머를 제조하는 단계; (ii) 상기 모노머로부터 새장 구조(cage structure)의 중합(polymerization) 반응에 의하여 하프늄 카바이드 세라믹 전구체를 제조하는 단계; (iii) 상기 하프늄 카바이드 세라믹 전구체를 열경화하는 단계; 및(iv) 상기 열경화된 하프늄 카바이드 세라믹 전구체를 1,400 내지 2,000 ℃에서 열처리하여 하프늄 카바이드 세라믹으로 전환하는 단계;를 포함하는 하프늄 카바이드 세라믹의 제조방법:[화학식 1] 상기 식에서, R 및 R`는 각각 서로 같거나 다른 수소 또는 C1 내지 C6의 알킬기이다
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 새장 구조의 하프늄 카바이드 세라믹 전구체는 아래 화학식 2 내지 4의 화합물과 같은 입체구조로 표시되는, 하프늄 카바이드 세라믹의 제조방법:[화학식 2] [화학식 3] [화학식 4] 상기 식에서, M은 Hf이고,R 및 R`는 각각 서로 같거나 다른 수소 또는 C1 내지 C6의 알킬기이다
|
| 4 |
4
제2항에 있어서, 상기 (i) 단계에서 상기 아민 함유 화합물은 리튬 디이소프로필아마이드, 리튬 디메틸아미드 및 리튬 디에틸아미드로 구성된 군으로부터 선택된 1종인, 하프늄 카바이드 세라믹의 제조방법
|
| 5 |
5
제2항에 있어서, 상기 (ii) 단계에서 상기 하프늄 카바이드 세라믹 전구체의 세라믹 수율은 60 내지 80 wt%인, 하프늄 카바이드 세라믹의 제조방법
|
| 6 |
6
제2항에 있어서, 상기 (iv) 단계에서 열처리 반응은 열분해와 결정화로 나누어 수행되는, 하프늄 카바이드 세라믹의 제조방법
|
| 7 |
7
제2항에 있어서, 상기 (iv) 단계에서 열처리 반응은 1회 이상 반복 수행되는, 하프늄 카바이드 세라믹의 제조방법
|
