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화학증착 탄화규소 부산물을 제공하는 단계; 및상기 탄화규소 부산물 중의 탄소를 수소가스화 처리하는 단계를 포함하는 탄화규소 부산물의 재생 방법
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제1항에 있어서,상기 수소가스화 처리는 화학증착 탄화규소 부산물을 수소 가스화 반응기에 장입하는 단계; 및상기 수소 가스화 반응기를 수소 가스와 불활성 가스의 혼합 분위기에서 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 부산물의 재생 방법
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제2항에 있어서,상기 열처리 온도는 700℃~1300℃인 것을 특징으로 하는 탄화규소 부산물의 재생 방법
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제1항에 있어서,상기 수소가스화 처리 단계 이후에 상기 탄화규소 부산물을 산처리 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 부산물의 재생 방법
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제1항에 있어서,상기 탄화규소 부산물은 화학증착 탄화규소의 가공에서 생성된 슬러지를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 부산물의 재생 방법
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제1항에 있어서,상기 탄화규소 부산물은 화학기상증착 공정 부품의 코팅 증착물인 것을 특징으로 하는 탄화규소 부산물의 재생 방법
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제1항에 있어서,상기 수소 가스화 처리 단계의 생성물은 메탄을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 부산물의 재생 방법
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제1항에 있어서,상기 수소가스화 처리 단계를 거친 탄화규소 부산물 중의 탄화규소 순도는 99% 이상인 것을 특징으로 하는 탄화규소 부산물의 재생 방법
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제1항에 있어서,상기 수소가스화 처리 단계는 잔류 실리콘을 수소가스화 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 부산물의 재생 방법
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