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자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 분석방법

  • 기술번호 : KST2020008652
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 결정의 결함 분석방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 광원으로부터 발광된 자외선이 다이아몬드 단결정의 표면 측으로 조사되는 자외선조사단계; 상기 자외선조사단계에서 상기 자외선이 조사된 상기 다이아몬드 단결정의 표면 측으로부터 방출되는 포토루미네선스(Photoluminescence)를 카메라장치가 입사받아서 포토루미네선스 이미지정보를 획득하는 포토루미네선스 이미지정보 획득단계; 및상기 포토루미네선스 이미지 획득단계에서 상기 카메라장치에 획득된 상기 포토루미네선스 이미지정보가 상기 카메라장치 측으로부터 데이터처리장치 측으로 전달되고, 상기 다이아몬드 단결정의 결함이 판단될 수 있도록, 상기 데이터처리장치가 상기 포토루미네선스 이미지정보를 소정의 색상공간 상에 나타낼 수 있는 적어도 하나 이상의 색상점(color point)으로 변환시키는 데이터처리단계; 를 포함하므로 높은 신뢰도로 다이아몬드 단결정의 결함 분포를 분석할 수 있다.
Int. CL G01N 21/33 (2006.01.01) G01N 33/38 (2020.01.01) G01N 21/17 (2006.01.01)
CPC G01N 21/33(2013.01) G01N 21/33(2013.01) G01N 21/33(2013.01)
출원번호/일자 1020180169043 (2018.12.26)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0079668 (2020.07.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 배시영 경상남도 진주시
2 정성민 경기도 수원시 장안구
3 최형석 경상남도 진주시 에나로
4 이명현 경상남도 진주시 소호로 **,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-1302009-64
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번호 청구항
1 1
광원으로부터 발광된 자외선이 다이아몬드 단결정의 표면 측으로 조사되는 자외선조사단계; 상기 자외선조사단계에서 상기 자외선이 조사된 상기 다이아몬드 단결정의 표면 측으로부터 방출되는 포토루미네선스(Photoluminescence)를 카메라장치가 입사받아서 포토루미네선스 이미지정보를 획득하는 포토루미네선스 이미지정보 획득단계; 및상기 포토루미네선스 이미지 획득단계에서 상기 카메라장치에 획득된 상기 포토루미네선스 이미지정보가 상기 카메라장치 측으로부터 데이터처리장치 측으로 전달되고, 상기 다이아몬드 단결정의 결함이 판단될 수 있도록, 상기 데이터처리장치가 상기 포토루미네선스 이미지정보를 소정의 색상공간 상에 나타낼 수 있는 적어도 하나 이상의 색상점(color point)으로 변환시키는 데이터처리단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 자외선조사단계 이전에 이루어지는 단계로서, 상기 다이아몬드 단결정에 대하여 클리닝(cleaning)시켜주는 준비단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 포토루미네선스 이미지정보 획득단계에서, 상기 포토루미네선스 이미지정보는 RGB(Red, Green, Blue) 형식(format)의 정보로서 상기 카메라장치에 저장되는 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 데이터처리단계에서 변환처리된 상기 색상점을 외부에서 인식할 수 있도록 디스플레이장치가 상기 색상공간과 상기 색상점을 디스플레이하는 디스플레이단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
5 5
제 4항에 있어서,상기 데이터처리단계 이후에 이루어지는 단계로서, 상기 데이터처리장치가 데이터베이스에 저장되어 있는 결정의 폴리타입들에 관한 정보와 비교하여 상기 다이아몬드 단결정의 폴리타입을 판단하는 판단단계;를 더 포함하고, 상기 디스플레이단계에서, 상기 판단단계에서 판단된 상기 다이아몬드 단결정의 폴리타입에 대한 판단결과정보가 상기 데이터처리장치에 의해 상기 디스플레이장치로 전달되어 상기 디스플레이장치에 의해 디스플레이 되는 것을 특징으로 하는,자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 데이터처리단계에서의 상기 색상공간은 CIE 1931 표준측색시스템에 따라 규정되는 색상공간인 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 광원과 상기 다이아몬드 단결정 사이에 상기 자외선을 확산시켜주는 빔익스펜더(beam expender)가 위치하고,상기 자외선조사단계에서, 상기 자외선이 상기 빔익스펜더를 지나 상기 다이아몬드 단결정의 표면 측으로 조사되는 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 자외선조사단계에서, 상기 광원 측에서 발광된 상기 자외선이 제1광학밴드패스필터(optical band pass filter)에 의해 필터링 되어 상기 다이아몬드 단결정 측으로 조사되는 것을 특징으로 하는,자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
9 9
제 8항에 있어서, 상기 제1광학밴드패스필터에 의하여 필터링 되어 상기 다이아몬드 단결정 측으로 입사되는 상기 자외선의 파장은 300nm 내지 400nm 사이에 해당되는 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
10 10
제 1항에 있어서, 상기 포토루미네선스 이미지정보 획득단계에서, 상기 다이아몬드 단결정 측으로부터 방출되어오는 상기 포토루미네선스가 상기 카메라장치에 입사되기 전에 제2광학밴드패스필터에 의해 필터링되는 것을 특징으로 하는, 자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
11 11
제 10항에 있어서,상기 포토루미네선스 이미지정보 획득단계에서, 상기 제2광학밴드패스필터에 의하여 필터링되어 상기 카메라장치 측으로 입사되는 상기 포토루미네선스의 파장은 450nm 보다 큰 것을 특징으로 하는,자외선 포토루미네선스를 이용한 다이아몬드 단결정의 결함 분석방법
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1 한국산업통상자원부 한국세라믹기술원 KICET 정책연구 전력반도체용 다이아몬드 박막 성장 기초 기술 개발