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다결정 금속 필름의 비정상입자성장에 의한 단결정 금속 필름 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2020008770
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 냉간 압연 공정으로 제조된 다결정 금속 필름을 수소 분위기 하에서 단 1회의 열처리만으로 비정상입자성장에 의하여 단결정 금속 필름으로 전환하는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 종래 단결정 금속 필름의 제조방법에 비하여 공정이 간단하여 생산비용이 크게 절감되며, 단결정화 속도가 매우 빨라 롤투롤(roll-to-roll) 연속 공정에 적용이 가능하고 열처리 공정조건이 민감하지 않으므로 넓은 범위의 조건에 걸쳐 단결정화가 가능하여 대면적으로 대량 생산이 가능하다.
Int. CL C30B 1/02 (2006.01.01) C30B 25/14 (2006.01.01) C22F 1/00 (2006.01.01)
CPC C30B 1/023(2013.01) C30B 1/023(2013.01) C30B 1/023(2013.01)
출원번호/일자 1020180163884 (2018.12.18)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0075327 (2020.06.26) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.18)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박호범 서울특별시 성동구
2 노지수 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-1270964-46
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.12.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0047513-43
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0274713-68
7 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2020-0610866-81
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.07.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0712842-55
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2020-0712823-98
10 등록결정서
Decision to grant		 2020.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0503588-52
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번호 청구항
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I) 두께가 13 ㎛를 초과하는 다결정 냉간 압연 금속 필름을 준비하여 파단응력의 80% 이상에 해당하는 장력을 가하는 단계;II) 상기 장력이 가해진 다결정 냉간 압연 금속 필름을 900℃ 내지 1100℃로 승온시키는 단계;III) 상기 승온된 온도에서 10분~4시간 등온상태를 유지하여 열처리 하는 단계; 및IV) 상기 열처리 후 자연 냉각 시키는 단계;를 포함하는 (111) 결정면으로 배향된 단결정 금속 필름의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 (II) 단계의 승온과정은 100~500 sccm, 2 torr 미만의 수소 또는 아르곤 가스 분위기 하에서 1~20℃/min의 승온속도로 수행되는 것을 특징으로 하는 (111) 결정면으로 배향된 단결정 금속 필름의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 (III) 단계의 열처리 과정은 100~500 sccm, 1 torr 이상의 수소 가스 분위기 하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 (111) 결정면으로 배향된 단결정 금속 필름의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 (IV) 단계의 자연 냉각 과정은 100~500 sccm, 1 torr 이상의 수소 가스 분위기 하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 (111) 결정면으로 배향된 단결정 금속 필름의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 (II) 내지 (IV) 단계는 단 1회의 사이클로 수행되는 것을 특징으로 하는 (111) 결정면으로 배향된 단결정 금속 필름의 제조방법
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DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2020130371 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 성균관대학교산학협력단 산업핵심기술개발사업 350 x 350 mm2 단결정 그래핀의 결함최소화를 위한 CVD성장 및 전사 공정기술 개발