| 1 |
1
플로팅 게이트와 상기 플로팅 게이트 상에 배치된 공동 유전체층; 상기 공동 유전체층 상에 배치된 채널층; 상기 채널층과 동일 층 상에서 상기 채널층의 양 측에 이격되도록 배치된 제어 게이트 및 감지 게이트를 포함하는 측정부; 및 상기 측정부에 연결되는 감지부를 포함하고,상기 플로팅 게이트와 상기 감지 게이트 사이의 제1 용량과 상기 플로팅 게이트와 상기 제어 게이트 사이의 제2 용량의 용량비를 조정하여 감지도를 조절하며,상기 채널층은 상기 공동 유전체층 상에 마스크에 의해 패터닝되어 상기 공동 유전체와 접하도록 형성되는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 공동 유전체층은 상기 플로팅 게이트와 상기 채널층 사이의 제3 용량을 더 포함하고,상기 제1 용량, 상기 제2 용량 및 상기 제3 용량은 서로 직렬 연결되는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 제1 용량 및 상기 제2 용량은 각각 상기 감지 게이트와 상기 제어 게이트의 면적에 따라 결정되며, 상기 감지 게이트의 면적은 상기 제어 게이트의 면적보다 넓은,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 제1 용량은 상기 제2 용량 보다 큰 값을 갖는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 감지부는 상기 감지 게이트에 연결되는 금속 전극; 상기 금속 전극 상에 배치되며 이온을 감지하는 감지막; 및 상기 감지막 상에 배치되며 감지 용액을 담을 수 있는 챔버를 포함하는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 감지막과 용액에 포함된 생리 물질의 반응에 따른 상기 감지 게이트의 전압 변화를 기초하여 상기 제1 용량과 상기 제2 용량의 용량비(coupling ratio)에 따라 상기 제어 게이트의 문턱전압이 변하고,상기 생리 물질은 용액 및 가스 중 적어도 어느 하나의 형태를 갖는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 제1 용량과 상기 제2 용량의 비에 따라 용량성 커플링비가 결정되고, 상기 감지도가 자가 증폭되는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 8 |
8
플로팅 게이트;상기 플로팅 게이트 상에 배치된 채널의 일 측에 이격되어 배치되는 감지 게이트; 및상기 감지 게이트와 동일 평면 상에 배치되며 상기 일 측과 타 측에 배치되는 제어 게이트를 포함하고,상기 감지 게이트 및 상기 제어 게이트는 상기 플로팅 게이트 상에 배치된 하나의 절연막을 공유하는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 절연막은 감지 게이트 용량 및 제어 게이트 용량을 포함하고,상기 감지 게이트 용량은 상기 제어 게이트 용량 보다 큰 값을 갖는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 감지 게이트와 용액에 포함된 생리 물질의 반응에 따른 상기 감지 게이트의 전압 변화를 기초하여 상기 감지 게이트 용량과 상기 제어 게이트 용량의 용량비(coupling ratio)에 따라 상기 제어 게이트의 문턱전압에 변화를 일으키는, 용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 생리 물질은 용액 및 가스 중 적어도 어느 하나의 형태를 갖을 수 있는, 용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서
|
| 12 |
12
차폐층 상에 플로팅 게이트를 형성하는 단계;상기 차폐층 상에 공동 유전체층을 형성하는 단계; 및상기 공동 유전체층 상에 채널을 형성하고 상기 형성된 채널의 양 측에 복수의 게이트를 동시에 형성하는 단계를 포함하고,상기 복수의 게이트는 감지 게이트 및 제어 게이트를 포함하며, 상기 감지 게이트와 상기 플로팅 게이트 사이의 제1 용량은 상기 제어 게이트 및 상기 플로팅 게이트 사이의 제2 용량보다 큰,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서의 제조 방법
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 감지 게이트와 용액에 포함된 생리 물질의 반응에 따른 상기 감지 게이트의 전압 변화를 기초하여 상기 제1 용량과 상기 제2 용량의 용량비(coupling ratio)에 따라 상기 제어 게이트의 문턱전압에 변화를 형성하는 단계;를 더 포함하는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서의 제조 방법
|
| 14 |
14
제13항에 있어서,상기 생리 물질은 용액 및 가스 중 적어도 어느 하나의 형태를 갖는,용량형 코플래너 구조의 이온전계효과 트랜지스터 기반 고성능 바이오 센서의 제조 방법
|
