맞춤기술찾기

이전대상기술

레이저를 이용한 반도체의 접합 방법

  • 기술번호 : KST2020009005
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 레이저를 이용한 반도체의 접합 방법이 제공된다. 상기 방법은, 기판 상에 접합하고자 하는 접합물을 위치시키는 단계; 상기 접합물 위에 레이저 흡수 물체를 위치시키는 단계; 및 상기 접합물에 레이저를 조사하는 단계를 포함하며, 상기 기판과 상기 접합물 사이에 비도전성 층이 형성되어 있다.
Int. CL H01L 21/52 (2006.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01) H01L 21/18 (2006.01.01) B23K 26/21 (2014.01.01) B23K 103/00 (2006.01.01)
CPC H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01)
출원번호/일자 1020180169767 (2018.12.26)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0080483 (2020.07.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 20

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 최광성 대전광역시 유성구
2 엄용성 대전광역시 서구
3 문석환 대전광역시 서구
4 장건수 대전광역시 유성구
5 구재본 대전광역시 서구
6 배현철 세종특별자치시 새롬중앙로 **
7 정용덕 대전광역시 서구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-1305904-27
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 접합하고자 하는 접합물을 위치시키는 단계; 상기 접합물 위에 레이저 흡수 물체를 위치시키는 단계; 및상기 접합물에 레이저를 조사하는 단계를 포함하고,상기 기판과 상기 접합물 사이에 비도전성 층이 형성되어 있는, 접합 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 접합물과 상기 레이저 흡수 물체 사이에 필름이 위치되어 있는, 접합 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 접합물을 위치시키는 단계 이후에상기 접합물 위에 필름을 위치시키는 단계를 더 포함하고,상기 레이저 흡수 물체를 위치시키는 단계는, 상기 접합물 위에 위치된 필름 위에 상기 레이저 흡수 물체를 위시키는, 접합 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 접합물이 복수개의 배열 형태로 이루어지는 경우, 상기 레이저 흡수 물체를 위치시키는 단계는상기 복수의 접합물 각각에 대해 개별적으로 레이저 흡수 물체를 각각 위치시키는, 접합 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 접합물이 복수개의 배열 형태로 이루어지는 경우, 상기 레이저 흡수 물체를 위치시키는 단계는상기 복수의 접합물 전체에 대해 하나의 레이저 흡수 물체를 위치시키는, 접합 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 레이저 흡수 물체는 80W/m·K 이상의 열전도도를 가지는 물질로 이루어지는, 접합 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 레이저 흡수 물체의 두께는 3mm 내지 10㎛인, 접합 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 비도전성 층이 레이저 흡수 물질을 포함하는, 접합 방법
9 9
제8항에 있어서,상기 레이저 흡수 물질을 포함하는 레이저 흡수 분말이 상기 비도전성 층 내부에 분사되어 있는, 접합 방법
10 10
제9항에 있어서,상기 레이저 흡수 분말의 형태는 구형, 타원형, 또는 플레이크(flake) 형태인, 접합 방법
11 11
제8항에 있어서,상기 레이저 흡수 물질은 금속, 반도체, 세라믹 중 하나를 포함하며, 상기 금속이 사용되는 경우, 상기 금속의 외부가 산화막 혹은 유기물로 절연되어 있는, 접합 방법
12 12
제8항에 있어서,상기 레이저 흡수 물질은 80W/m·K 이상의 열전도도를 가지는, 접합 방법
13 13
제1항에 있어서,상기 기판은 패드를 포함하며, 상기 접합물을 위치시키는 단계는, 상기 패드 상에 솔더 범프가 배치되도록, 상기 솔더 범프가 부착된 접합물을 상기 기판 상에 위치시키며, 그리고, 상기 레이저를 조사하는 단계는, 상기 접합물에 레이저를 조사하여 상기 솔더 범프와 상기 패드를 부착시키는, 접합 방법
14 14
제1항에 있어서,상기 기판 상 또는 상기 접합물 아래 부분에, NCP(non-conductive paste) 또는 NCF(non-conductive film)를 위치시켜 상기 비도전성 층을 형성하는 단계를 더 포함하는 접합 방법
15 15
제1항에 있어서,상기 접합물은 반도체 칩인, 접합 방법
16 16
기판 상에 접합하고자 하는 접합물을 위치시키는 단계; 및상기 접합물에 레이저를 조사하는 단계를 포함하며,상기 기판과 상기 접합물 사이에 비도전성 층이 형성되어 있으며, 상기 비도전성 층이 레이저 흡수 물질을 포함하는, 접합 방법
17 17
제16항에 있어서,상기 레이저 흡수 물질을 포함하는 레이저 흡수 분말이 상기 비도전성 층 내부에 분사되어 있는, 접합 방법
18 18
제16항에 있어서,상기 레이저 흡수 물질은 금속, 반도체, 세라믹을 포함하며, 상기 금속이 사용되는 경우, 금속의 외부가 산화막 혹은 유기물로 절연되어 있는, 접합 방법
19 19
제16항에 있어서,상기 레이저 흡수 물질은 80W/m·K 이상의 열전도도를 가지는, 접합 방법
20 20
제16항에 있어서,상기 기판 상 또는 상기 접합물 아래 부분에 NCP(non-conductive paste) 또는 NCF(non-conductive film)를 위치시켜 상기 비도전성 층을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 레이저 흡수 물질을 포함하는 레이저 흡수 분말이 상기 NCP 또는 상기 NCF 내부에 분산되어 있는, 접합 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국전자통신연구원 에너지기술개발사업 초소형 태양광 cell 기반 25% 이상 모빌리티형 박막 태양광 모듈 개발