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기판 상에 몰리브덴 산화물(MoaOb)을 포함하는 제1 수평 결정 및 제1 기립 결정을 형성하는 것;황 기체를 상기 제1 수평 결정 및 상기 제1 기립 결정 상에 공급하여, 제2 수평 결정, 제2 기립 결정 및 이들 상의 예비막을 형성하는 것, 상기 예비막은 이황화 몰리브덴(MoS2)을 포함하고; 및상기 제2 수평 결정 및 상기 제2 기립 결정을 제거하는 것을 포함하는 수소 촉매층의 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 제2 수평 결정 및 상기 제2 기립 결정을 형성하는 것은,상기 제1 수평 결정 및 상기 제1 기립 결정의 산소의 적어도 일부를 환원시키는 것을 포함하는 수소 촉매층의 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 제2 수평 결정 및 상기 제2 기립 결정은 이산화 몰리브덴(MoO2)을 포함하는 수소 촉매층의 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 수평 결정 및 상기 제1 기립 결정의 몰리브덴 산화물(MoaOb)에서,상기 a 및 b 각각은 1 이상의 정수이며, b/a는 2이상 3이하인 수소 촉매층의 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 수평 결정 및 제1 기립 결정을 형성하는 것은,상기 기판 상으로 불활성 기체 및 몰리브덴 산화물 기체를 공급하는 것을 포함하는 수소 촉매층의 제조방법
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제1 항에 있어서,제2 수평 결정 및 상기 제2 기립 결정을 제거하는 것은,상기 제2 수평 결정 및 상기 제2 기립 결정을 식각하는 식각제를 상기 기판 상에 분사하는 것을 포함하는 수소 촉매층의 제조방법
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제1 항에 있어서,상기 제2 수평 결정 및 상기 제2 기립 결정을 형성하는 것은,상기 기판의 온도를 상승시키는 것을 포함하는 수소 촉매층의 제조방법
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기판 상에 이산화 몰리브덴(MoO2)을 포함하는 제1 수평 결정 및 제1 기립 결정을 형성하는 것;상기 제1 수평 결정 및 상기 제1 기립 결정 상에 예비막을 형성하는 것; 및상기 제1 수평 결정 및 상기 제1 기립 결정을 제거하는 것을 포함하되,상기 예비막은 이황화 몰리브덴(MoS2)을 포함하는 수소 촉매층의 제조방법
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제8 항에 있어서,상기 제1 수평 결정은 상기 기판의 상면에 평행하는 방향으로 연장하고,상기 제1 기립 결정은 상기 기판의 상면에 교차하는 방향으로 연장하는 수소 촉매층의 제조방법
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제8 항에 있어서,상기 예비막을 형성하는 것은,상기 기판 상에 황 기체를 공급하는 것을 포함하는 수소 촉매층의 제조방법
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