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복수개의 채널들이 형성되고, 상기 채널들의 양 끝단이 굽어져 연결되어 상기 채널들이 폐루프형 또는 폐쇄형을 이루고, 상면 또는 하면이 플라즈마 처리되는 베이스부; 및상기 베이스부의 상부 및 하부에 접합되고, 상기 베이스부의 외곽에서 서로 접합되어 상기 채널들을 밀폐시키는 한 쌍의 표면필름;을 포함하고,상기 베이스부는 플라즈마 처리된 상면 또는 하면이 실록산계 표면 개질되고, 표면 개질된 상면 또는 하면이 다시 플라즈마 처리된 후, 상기 표면필름과 접합되고,상기 표면필름은 상기 채널이 진공 상태를 유지할 수 있도록 기체 투과를 막는 차단층, 상기 차단층의 일면에 실리콘계 물질로 코팅되어 상기 베이스부와 맞닿는 실리콘층, 및 상기 차단층의 타면에 형성되는 필름층을 포함하며,상기 베이스부와 맞닿는 상기 실리콘층의 일면은 플라즈마처리된 후, 상기 베이스부와 맞닿아 상기 표면필름이 상기 베이스부와 접합되는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프
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제1항에 있어서,상기 베이스부와 상기 표면필름은 가압되어 서로 접합되는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프
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제1항에 있어서,상기 베이스부와 상기 표면필름은 가열되어 서로 접합되는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프
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제1항에 있어서,상기 차단층은 금속재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프
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제1항에 있어서,상기 베이스부는 열가소성 고분자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프
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제1항에 있어서,상기 한 쌍의 표면필름은 상기 베이스부의 외곽에서 솔더링 또는 용접되어 서로 접합되는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프
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a) 복수개의 채널들이 형성되고, 상기 채널들의 양 끝단이 굽어져 연결되어 채널들이 폐루프형 또는 폐쇄형을 이루는 베이스부의 상면 또는 하면을 플라즈마 처리하는 단계; 및b) 상기 베이스부의 상부 및 하부를 한 쌍의 표면필름으로 덮고, 상기 베이스부와 한 쌍의 상기 표면필름을 접합시키며, 상기 베이스부의 외곽에서 한 쌍의 표면필름을 서로 접합시켜 상기 채널들을 밀폐시키는 단계;를 포함하되,상기 a) 단계는 플라즈마 처리된 상기 베이스부의 상면 또는 하면을 실록산계로 표면 개질한 후, 실록산계 표면 개질된 상기 베이스부의 상면 또는 하면을 다시 플라즈마 처리하고,상기 표면필름은 상기 채널이 진공 상태를 유지할 수 있도록 기체 투과를 막는 차단층, 상기 차단층의 일면에 실리콘계 물질로 코팅되어 상기 베이스부와 맞닿는 실리콘층, 및 상기 차단층의 타면에 형성되는 필름층을 포함하며,상기 b) 단계는 상기 실리콘층의 일면을 플라즈마 처리한 후, 상기 베이스부와 맞닿아 상기 표면필름이 상기 베이스부와 접합되도록 하는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프의 제작방법
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제12항에 있어서,상기 b) 단계는 상기 베이스부와 상기 표면필름을 가압하여 서로 접합시키는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프의 제작방법
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제12항에 있어서,상기 b) 단계는 상기 베이스부와 상기 표면필름을 가열하여 서로 접합시키는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프의 제작방법
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제12항에 있어서,상기 b) 단계는 한 쌍의 상기 표면필름을 상기 베이스부의 외곽에서 솔더링 또는 용접시켜 서로 접합시키는 것을 특징으로 하는 연성 평판 진동형 히트파이프의 제작방법
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