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내측에 소정의 공간이 마련된 하우징바디;적어도 일부분이 상기 하우징바디의 내측에 내재되며, 주변의 액상전구체의 점도를 측정하기 위하여 마련되는 점도측정모듈; 상기 하우징바디의 내측에 내재되며, 상기 점도측정모듈측으로부터 상기 액상전구체의 점도에 관하여 측정된 점도측정정보를 전달받아서 외부로 송신하는 통신모듈; 및상기 하우징바디의 내측에 내재되어 상기 점도측정모듈 또는 상기 통신모듈과 연결되며, 상기 점도측정모듈 또는 상기 통신모듈이 작동할 수 있도록 전원을 공급하여 주는 전원모듈; 을 포함하는 것을 특징으로 하는, 캡슐형 점도측정기
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제 1항에 있어서, 상기 점도측정모듈 또는 상기 통신모듈과 전기적으로 연결되며, 상기 점도측정모듈 또는 상기 통신모듈에 대한 제어 또는 신호처리를 하는 제어모듈; 을 더 포함하고,상기 통신모듈은, 외부로부터 발신된 제어신호를 수신하여 상기 제어모듈 측으로 수신된 제어신호를 전달하는 것을 특징으로 하는,캡슐형 점도측정기
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제 2항에 있어서, 상기 점도측정모듈은 적어도 일부분이 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical System)소자로 이루어진 것을 특징으로 하는,캡슐형 점도측정기
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제 3항에 있어서, 멤스소자로 이루어진 상기 점도측정모듈은 다수의 공진주파수 모드를 사용할 수 있는 것을 특징으로 하는,캡슐형 점도측정기
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제 4항에 있어서,상기 캡슐형 점도측정기는, 상기 하우징바디에 마련되고, 상기 액상전구체가 소정의 양만큼 모여있는 환경에서 상기 하우징바디를 상기 액상전구체의 표면에 부유시켜주는 부유수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캡슐형 점도측정기
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제 5항에 있어서,소정의 양만큼 모여있는 상기 액상전구체 상에 부유하고 있는 상기 하우징바디의 자세 제어가 이루어질 수 있도록 보조하기 위한 무게중심추가 상기 하우징바디에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는, 캡슐형 점도측정기
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제 6항에 있어서, 상기 하우징바디의 주변의 온도를 측정하는 온도센서가 상기 하우징바디에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는,캡슐형 점도측정기
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디개싱(degassing)시킬 액상전구체가 수용되는 수용공간을 형성하는 캐니스터;상기 캐니스터와 진공라인을 통해 연결되고, 상기 캐니스터에서 상기 액상전구체가 수용된 상기 수용공간 내에 진공상태를 설정하여 주는 진공펌프; 상기 캐니스터에 장착되며, 상기 액상전구체를 상기 수용공간 내 빈 공간인 디개싱공간 상에 분산시켜주는 분산수단; 및 상기 캐니스터의 상기 수용공간 내에 배치되어 상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체의 점도를 측정하는 캡슐형 점도측정기 측과 통신을 하기 위하여 상기 캐니스터에 마련되는 캐니스터통신부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는, 액상전구체 디개서
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제 8항에 있어서, 상기 분산수단은, 상기 액상전구체가 상기 디개싱공간 상으로 소정의 압력으로 분사될 수 있도록 실린더와 피스톤을 포함하는 유압기; 및상기 유압기의 상기 실린더에 장착되고, 일측단이 상기 디개싱공간으로 삽입되어 위치하며, 상기 실린더 내에서 소정의 압력을 받은 상기 액상전구체가 상기 디개싱공간 상으로 분산되도록 상기 액상전구체의 분사를 가이드하는 분사노즐; 을 포함하는 것을 특징으로 하는, 액상전구체 디개서,
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제 9항에 있어서, 상기 수용공간의 하측에 집적되어 수용된 상기 액상전구체가 상기 실린더 내부로 공급되어 다시 상기 디개싱공간으로 분사되어 분산될 수 있도록,상기 실린더와 상기 캐니스터 사이를 연통시켜주는 회수라인이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는, 액상전구체 디개서
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제 10항에 있어서, 상기 디개싱공간 상에 부유중인 상기 액상전구체가 상기 진공라인 측으로 유입되는 것을 차단하되, 상기 디개싱공간 상에 존재하는 가스는 상기 진공라인 내로 이동될 수 있도록 통과시켜주는 반투과성막이 상기 캐니스터에 마련된 것을 특징으로 하는, 액상전구체 디개서
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제 11항에 있어서, 상기 수용공간 또는 상기 디개싱공간과 연통될 수 있도록 상기 캐니스터와 연결되며, 상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체의 증기압을 측정하기 위한 압력측정수단; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 액상전구체 디개서
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제 12항에 있어서, 상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체에 열을 공급하기 위한 히터가 상기 캐니스터에 마련된 것을 특징으로 하는 액상전구체 디개서
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제 13항에 있어서, 액상전구체를 디개싱 시키기 위하여 마련되는 액상전구체 디개서;상기 액상전구체 디개서 내에 배치되어 상기 액상전구체의 점도를 측정하고, 측정된 점도측정정보를 상기 액상전구체 디개서로 전달하는 캡슐형 점도측정기; 및상기 액상전구체 디개서와 전기적으로 연결되어 상기 액상전구체 디개서 또는 상기 캡슐형 점도측정기의 작동을 제어하며, 상기 캡슐형 점도측정기가 측정하여 얻은 상기 점도측정정보를 상기 액상전구체 디개서로부터 전달받는 중앙제어기기; 를 포함하되, 상기 캡슐형 점도측정기는, 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 따른 캡슐형 점도측정기인 것을 특징으로 하는 액상전구체 매니지먼트 시스템
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제 14항에 있어서, 상기 액상전구체 디개서는, 제 8항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 따른 액상전구체 디개서인 것을 특징으로 하는 액상전구체 매니지먼트 시스템
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