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디개싱(degassing)시킬 액상전구체가 수용되는 수용공간을 형성하는 캐니스터;상기 캐니스터와 진공라인을 통해 연결되고, 상기 캐니스터에서 상기 액상전구체가 수용된 상기 수용공간 내에 진공상태를 설정하여 주는 진공펌프; 상기 캐니스터 내의 상기 수용공간 내에 배치되며, 상면에 공급된 상기 액상전구체가 원심력에 의해 상면 상에 고르게 분산도포된 후 테두리측으로 이동되도록 회전하는 스핀디스크(spin disk); 및상기 스핀디스크를 회전시켜주는 회전수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 1항에 있어서, 상기 스핀디스크는 다수 마련되어 있고,다수개의 상기 스핀디스크는 동일한 회전중심축을 가지고 층층이 쌓여진 구조를 이루고 있는 것을 특징으로 하는, 원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 2항에 있어서, 상기 회전수단은, 상기 스핀디스크에 마련되는 자성체; 및 상기 캐니스터 외부의 하단에 마련되며, 상기 스핀디스크가 회전되도록 상기 자성체에 인력 또는 척력을 가하는 마그네틱마운트; 를 포함하는 것을 특징으로 하는,원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 3항에 있어서,상기 마그네틱마운트는 자기력을 형성시키는 전자석을 포함하는 것을 특징으로 하는, 원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 4항에 있어서, 상기 캐니스터에는, 진공펌프 또는 가스봄베와 연통되도록 연결되기 위한 인렛포트(inlet port)가 마련되어 있으며, 상기 인렛포트 측에는 불순물가스는 통과시키되 상기 액상전구체는 걸러내는 반투과성막이 장착되어 있는 것을 특징으로 하는,원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 5항에 있어서, 상기 반투과성막은 탈착이 가능하게 장착되어 있는 것을 특징으로 하는,원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 6항에 있어서, 상기 캐니스터 내측에서, 내측에 상기 스핀디스크가 배치되도록 상기 캐니스터와 상기 스핀디스크 사이에 배치되며, 상기 액상전구체의 이동을 가이드하는 가이드베슬(guide vessel); 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 7항에 있어서,상기 가이드베슬은,(내면에서) 상단의 너비가 하단의 너비보다 크도록 테이퍼(taper)지게 형성된 것을 특징으로 하는, 원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 8항에 있어서,상기 액상전구체가 역류되는 것을 억제하기 위한 베플이 상기 캐니스터에 마련된 것을 특징으로 하는,원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 9항에 있어서, 상기 캐니스터에는 아웃렛포트(outlet port)가 마련되어 있으며, 상기 아웃렛포트 측에는 상기 액상전구체의 증기압을 측정하기 위한 압력측정수단이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는,원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 10항에 있어서, 상기 캐니스터의 내측 또는 상기 상기 가이드배슬의 내측에는,상기 캐니스터 내부의 온도 또는 상기 액상전구체의 온도를 측정하기 위한 온도센서가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는,원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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제 11항에 있어서,회전하는 상기 스핀디스크의 상면 상에서의 상기 액상전구체의 두께를 측정하기 위한 광학측정수단이 상기 캐니스터에 마련된 것을 특징으로 하는, 원심력을 이용한 액상전구체 디개서
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