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디개싱(degassing)시킬 액상전구체가 수용되는 수용공간을 형성하는 캐니스터;상기 캐니스터와 진공라인을 통해 연결되고, 상기 캐니스터에서 상기 액상전구체가 수용된 상기 수용공간 내에 진공상태를 설정하여 주는 진공펌프; 및상기 캐니스터에 장착되며, 상기 액상전구체를 상기 수용공간 내 빈 공간인 디개싱공간 상에 분산시켜주는 분산수단; 을 포함하는 것을 특징으로 하는, 분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서
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제 1항에 있어서, 상기 분산수단은, 상기 수용공간의 하측에 집적되어 수용되는 상기 액상전구체를 다시 순환적으로 상기 디개싱공간 상에 분산시켜주는 것을 특징으로 하는, 분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서
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제 2항에 있어서, 상기 분산수단은, 상기 액상전구체가 상기 디개싱공간 상으로 소정의 압력으로 분사될 수 있도록 실린더와 피스톤을 포함하는 유압기; 및상기 유압기의 상기 실린더에 장착되고, 일측단이 상기 디개싱공간으로 삽입되어 위치하며, 상기 실린더 내에서 소정의 압력을 받은 상기 액상전구체가 상기 디개싱공간 상으로 분산되도록 상기 액상전구체의 분사를 가이드하는 분사노즐; 을 포함하는 것을 특징으로 하는, 분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서,
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제 3항에 있어서, 상기 수용공간의 하측에 집적되어 수용된 상기 액상전구체가 상기 실린더 내부로 공급되어 다시 상기 디개싱공간으로 분산될 수 있도록,상기 실린더와 상기 캐니스터 사이를 연통시켜주는 회수라인이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는, 분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서
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제 4항에 있어서, 상기 수용공간의 하측의 바닥면은 테이퍼(taper)지게 형성되어 있고, 상기 바닥면의 최저부분에서 상기 회수라인과 연통되도록 연결된 것을 특징으로 하는, 분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서
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제 5항에 있어서, 상기 회수라인에는 상기 액상전구체가 상기 실린더로 이동되는 것을 단속할 수 있는 회수밸브가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는,분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서
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제 6항에 있어서, 상기 분산수단에는, 상기 분사노즐을 일정한 온도로 유지시켜주는 노즐히터가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는, 분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서
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제 7항에 있어서, 상기 디개싱공간 상에 부유중인 상기 액상전구체가 상기 진공라인 측으로 유입되는 것을 차단하되, 상기 디개싱공간 상에 존재하는 불순물가스는 상기 진공라인 내로 이동될 수 있도록 통과시켜주는 반투과성막이 상기 캐니스터에 마련된 것을 특징으로 하는, 분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서
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제 8항에 있어서, 상기 수용공간 또는 상기 디개싱공간과 연통될 수 있도록 상기 캐니스터와 연결되며, 상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체의 증기압을 측정하기 위한 압력측정수단; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서
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제 9항에 있어서,상기 수용공간 내에 수용된 상기 액상전구체에 열을 공급하기 위한 히터가 상기 캐니스터에 마련된 것을 특징으로 하는, 분산수단을 포함하는 액상전구체 디개서
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