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정렬된 금속 입자, 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020009679
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 정렬된 금속 입자의 제조 방법이 제공된다. 상기 정렬된 금속 입자의 제조 방법은, 기판을 준비하는 단계, 상기 기판 상에 가이드 패턴을 형성하는 단계, 상기 가이드 패턴을 콘포말하게(conformally) 덮고, 2종 이상의 금속 원소를 포함하는 금속막을 형성하는 단계, 및 상기 금속막을 디웨팅(dewetting)시켜, 상기 가이드 패턴 사이에 금속 입자들이 서로 이격되어 정렬된 집합 패턴을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 금속막은, 제1 금속 원소 및 제2 금속 원소를 포함하고, 상기 금속 입자는, 상기 제1 금속 원소의 비율이 상기 제2 금속 원소의 비율보다 높은 제1 금속 영역, 및 상기 제2 금속 원소의 비율이 상기 제1 금속 원소의 비율보다 높은 제2 금속 영역을 포함할 수 있다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020180171236 (2018.12.27)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0081100 (2020.07.07) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.12.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박운익 경상남도 진주시 소호로 *
2 정현성 경상남도 진주시 사들로 **, **
3 윤영준 경상남도 진주시 대밭골로 **, ***
4 방지원 경상남도 진주

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
2 최내윤 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 ** *동 ***호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-1312709-95
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-1314020-93
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.08.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0010280-44
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0069334-14
6 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-0327955-85
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.04.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0412621-13
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2020-0412620-78
9 등록결정서
Decision to grant		 2020.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0522956-41
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 가이드 패턴을 형성하는 단계;상기 가이드 패턴을 콘포말하게(conformally) 덮고, 2종 이상의 금속 원소를 포함하는 금속막을 형성하는 단계; 및상기 금속막을 디웨팅(dewetting)시켜, 디웨팅된 상기 금속막이 상기 가이드 패턴의 상부면으로부터 측면으로 이동되어, 상기 가이드 패턴 사이에 디웨팅된 상기 금속막이 경화되어 형성된 금속 입자들이 서로 이격되어 정렬된 집합 패턴을 형성하는 단계를 포함하되,상기 금속막은, 제1 금속 원소 및 제2 금속 원소를 포함하고,상기 금속 입자는, 상기 제1 금속 원소의 비율이 상기 제2 금속 원소의 비율보다 높은 제1 금속 영역, 및 상기 제2 금속 원소의 비율이 상기 제1 금속 원소의 비율보다 높은 제2 금속 영역으로 구분되는 정렬된 금속 입자의 제조 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 가이드 패턴을 형성하는 단계는, 제1 고분자 및 제2 고분자를 갖는 소스 용액을 준비하는 단계;상기 소스 용액을 기판 상에 제공하고 열처리하여, 상기 기판 상에, 상기 제1 고분자가 자기조립된 가이드 패턴, 및 상기 가이드 패턴을 덮는 가이드 막을 형성하는 단계; 및상기 가이드 막을 제거하고, 상기 가이드 패턴을 잔존시키는 단계를 포함하는 정렬된 금속 입자의 제조 방법
3 3
제2 항에 있어서, 상기 집합 패턴을 형성한 후, 상기 가이드 패턴을 제거하는 단계를 더 포함하는 정렬된 금속 입자의 제조 방법
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삭제
5 5
삭제
6 6
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7 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 한국세라믹기술원 이공학 개인기초연구 지원사업 하이브리드나노소재 기반 물분해 수소제조용 광전극 개발
2 미래창조과학부 한국세라믹기술원 이공학 개인기초연구지원사업 계층적 다중소재 나노구조물 형상제어기술 개발 및 반도체소자 응용