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폴리머 멤브레인 위에 금속 박막이 형성되어 전기도전성을 갖는 다공성 멤브레인 전극으로서,상기 폴리머 멤브레인은 폴리테트라플르오로에틸렌, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리이미드 및 폴리바이닐피로리돈으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 멤브레인을 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극
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제1항에 있어서, 상기 금속 박막은 Au, Ag, Pd, Pt, Ru, Ni, Cu 및 Co로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극
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제1항에 있어서, 상기 폴리머 멤브레인의 기공의 크기는 0
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제1항에 있어서, 상기 금속 박막은 5∼5000nm의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극
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제1항에 있어서, 상기 폴리머 멤브레인은 플라즈마로 표면처리된 폴리머 멤브레인인 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극
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폴리머 멤브레인을 플라즈마 처리하여 상기 폴리머 멤브레인의 표면거칠기를 증대시키는 단계; 및플라즈마 처리된 폴리머 멤브레인 위에 금속 박막을 증착하는 단계를 포함하며, 상기 폴리머 멤브레인은 폴리테트라플르오로에틸렌, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리이미드 및 폴리바이닐피로리돈으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 멤브레인을 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 폴리머 멤브레인의 플라즈마 처리는 50W∼1kW의 전력 범위에서 수행하는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 금속 박막은 Au, Ag, Pd, Pt, Ru, Ni, Cu 및 Co로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 폴리머 멤브레인의 기공의 크기는 0
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제6항에 있어서, 상기 금속 박막은 5∼5000nm의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 금속 박막은 스퍼터 방법으로 증착하는 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 스퍼터 시에 인가되는 전력은 50W∼1kW 범위인 것을 특징으로 하는 다공성 멤브레인 전극의 제조방법
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