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1
그를 제1 방향으로 관통하는 개구부를 갖는 지지구조체;상기 지지구조체에 고정되어 상기 개구부와 중첩되도록 연장된 구동 공진기; 및상기 구동 공진기와 상기 제1 방향으로 이격되도록 상기 지지구조체에 고정되며, 상기 구동 공진기와 나란히 연장된 감지 공진기를 포함하되,상기 구동 공진기는 제1 압전체를 포함하고, 상기 감지 공진기는 제2 압전체를 포함하고,상기 제1 압전체 및 상기 제2 압전체는 동일한 형상을 갖는 유체 점도 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 구동 공진기 및 상기 감지 공진기의 각각은 상기 개구부 내에 자유단(free end)을 갖는 캔틸레버의 형상을 갖는 유체 점도 측정 장치
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3
제1 항에 있어서,상기 제1 압전체 및 상기 제2 압전체는 서로 동일한 상기 제1 방향의 두께를 갖는 유체 점도 측정 장치
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4
제1 항에 있어서,상기 제1 압전체 및 상기 제2 압전체는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장되고, 서로 동일한 상기 제2 방향의 길이를 갖는 유체 점도 측정 장치
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5
제1 항에 있어서,상기 구동 공진기는 상기 제1 압전체를 사이에 두고 서로 이격된 구동부 전극들을 포함하고, 상기 감지 공진기는 상기 제2 압전체를 사이에 두고 서로 이격된 센서부 전극들을 포함하는 유체 점도 측정 장치
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6
제5 항에 있어서,상기 구동 공진기는 상기 제1 압전체 및 상기 구동부 전극들을 둘러싸는 구동부 절연막을 포함하고, 상기 감지 공진기는 상기 제2 압전체 및 상기 감지 공진기를 둘러싸는 센서부 절연막을 포함하는 유체 점도 측정 장치
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7
제6 항에 있어서,상기 구동 공진기와 상기 감지 공진기는 동일한 크기 및 형상을 갖는 유체 점도 측정 장치
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8
제7 항에 있어서,상기 구동 공진기와 상기 감지 공진기는 동일한 고유진동수(natural frequency)를 갖는 유체 점도 측정 장치
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9
제1 항에 있어서,상기 지지구조체는 순차적으로 적층된 제1 지지층, 제2 지지층 및 제3 지지층을 포함하고, 상기 구동 공진기는 상기 제1 지지층의 상면에 고정되고, 상기 감지 공진기는 상기 제3 지지층의 하면에 고정되는 유체 점도 측정 장치
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10
제9 항에 있어서,상기 제2 지지층의 상기 제1 방향의 두께는 상기 구동 공진기의 두께와 상기 감지 공진기의 두께의 합보다 큰 유체 점도 측정 장치
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11
제1 항에 있어서,상기 구동 공진기 및 상기 감지 공진기는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장되고, 상기 구동 공진기 상기 감지 공진기 사이의 간격은 상기 제2 방향을 따라 일정한 유체 점도 측정 장치
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12
제1 항에 있어서,상기 지지구조체 상에 배치되어 상기 개구부에 의해 일부가 노출되는 일 면을 갖는 지지기판을 더 포함하는 유체 점도 측정 장치
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13
그를 제1 방향으로 관통하는 개구부를 갖는 지지구조체;상기 지지구조체로부터 연장되어 상기 개구부의 내에 배치되는 제1 및 제2 공진기 지지부;상기 제1 공진기 지지부 상에 배치되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장된 구동 공진기; 및상기 제2 공진기 지지부 상에 배치되며, 상기 제2 방향으로 연장된 감지 공진기를 포함하되,상기 구동 공진기는 제1 압전체를 포함하고, 감지 공진기는 제2 압전체를 포함하고,상기 구동 공진기와 상기 감지 공진기는 서로 마주보도록 배치되는 유체 점도 측정 장치
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14
제13 항에 있어서,상기 지지구조체와 상기 제1 공진기 지지부를 연결하는 제1 연결부들 및 상기 지지구조체와 상기 제2 공진기 지지부를 연결하는 제2 연결부를 더 포함하는 점도 측정 장치
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제14 항에 있어서,상기 제1 연결부들은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 수직한 제3 방향으로 서로 이격되고,제2 연결부들 상기 제3 방향으로 서로 이격되는 점도 측정 장치
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제13 항에 있어서,상기 구동 공진기 및 상기 감지 공진기는 상기 제1 방향으로 서로 이격되는 유체 점도 측정 장치
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제13 항에 있어서,상기 구동 공진기 및 상기 감지 공진기는 상기 제2 방향으로 서로 이격되는 유체 점도 측정 장치
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