| 1 |
1
삭제
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
삭제
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
삭제
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
삭제
|
| 15 |
15
신축성 기판;상기 기판 상에 형성된 기준 전극; 상대 전극; 및 상기 기판 상에 차례대로 형성된 Al2O3층; Ti층; 및 다공성 Au층으로 이루어진, 다공성 금 구조체로 이루어진 작업 전극;을 포함하는 3전극 센서부;상기 기판 및 3전극 센서부 위에 배치되는 중간층으로서, 상기 중간층은 상기 3전극 센서부가 배치되는 부분에 개방부를 포함하는, 중간층;상기 중간층 상에 배치되며, 상기 중간층의 개방부를 덮고 있고, 체액을 수집하는 면직물 기반 미세유체소자로서, 상기 미세유체소자는 챔버; 및 저장고로 이루어지며, 챔버는 상기 중간층의 개방부를 덮도록 배치되며, 저장고는 상기 챔버로부터 연장되어 있는 부분인, 미세유체소자; 상기 미세유체소자를 덮는 인캡슐레이션(encapsulation)층으로서 상기 인캡슐레이션층은 체액이 상기 미세유체소자로 들어가기 위한 입구를 포함하고 있는, 인캡슐레이션층; 및상기 미세유체소자로부터 상기 3전극 센서부로 체액을 전달하는 탄성 고분자로 이루어진 기둥을 포함하고,상기 미세유체소자에서 수집된 체액이 상기 기둥을 통해 상기 3전극 센서부로 전달되어 전류 변화를 측정하며, 상기 측정된 체액은 상기 미세유체소자의 저장고로 이동하여 검출 정확도가 향상되는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서
|
| 16 |
16
제 15 항에 있어서,상기 신축성 기판은, 가상의 기준 평면에 대해 돌출되는 곡면으로 이루어지고 규칙적 또는 불규칙적으로 배열되며 서로 동일한 크기 및 형상을 갖는 복수의 더미들 및 상기 더미들 사이에 형성되고 아래로 오목한 곡면으로 이루어진 골(valley)로 이루어진 모글 패턴(mogul pattern)이 일면에 형성되고,상기 기준 평면들에 수직한 임의의 평면들을 따라 절단한 단면들에 있어서 상기 모글 패턴의 표면은 상기 더미에 대응하는 위로 볼록한 곡선 및 상기 골에 대응하는 아래로 오목한 곡선으로 이루어지는 연속된 곡선을 형성하는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서
|
| 17 |
17
제 15 항에 있어서,상기 기준 전극은 은 또는 산화은으로 이루어진,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서
|
| 18 |
18
제 15 항에 있어서,상기 탄성 고분자로 이루어진 기둥은 상기 미세유체소자에서 수집된 체액이 상기 3전극 센서부로 전달될 수 있도록 상기 3전극 센서부로부터 상기 중간층의 개방부를 통해 상기 미세유체소자와 연결되어 있는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서
|
| 19 |
19
삭제
|
| 20 |
20
제 15 항에 있어서,상기 다공성 Au층은 금과 은을 동시에 증착시켜 합금을 형성한 후 은을 합금으로부터 식각하여 다공성 Au층을 형성하는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서
|
| 21 |
21
제 15 항에 있어서,상기 중간층은 큐어링(curing) 가능한 탄성 고분자로 이루어지며, 이러한 중간층에 의해 면직물 기반 미세유체소자가 부착될 수 있는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서
|
| 22 |
22
신축성 기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 형성된 기준 전극; 상대 전극; 및 상기 기판 상에 차례대로 형성된 Al2O3층; Ti층; 및 다공성 Au층으로 이루어진, 다공성 금 구조체로 이루어진 작업 전극;을 포함하는 3전극 센서부를 형성하는 단계;상기 기판 및 3전극 센서부 위에 배치되는 중간층을 형성하는 단계로서, 상기 중간층은 상기 3전극 센서부가 배치되는 부분에 개방부를 포함하는, 중간층을 형성하는 단계;상기 3전극 센서부로부터 상기 중간층의 개방부를 통해 돌출된 탄성 고분자로 이루어진 기둥을 형성하는 단계; 및상기 중간층 상에 배치되며, 상기 중간층의 개방부를 덮고 있고, 체액을 수집하는 면직물 기반 미세유체소자를 형성하는 단계로서, 상기 미세유체소자는 챔버; 및 저장고로 이루어지며, 챔버는 상기 중간층의 개방부를 덮도록 배치되며, 저장고는 상기 챔버로부터 연장되어 있는 부분인, 미세유체소자를 형성하는 단계를 포함하는,상기 미세유체소자에서 수집된 체액이 상기 기둥을 통해 상기 3전극 센서부로 전달되어 전류 변화를 측정하며, 상기 측정된 체액은 상기 미세유체소자의 저장고로 이동하여 검출 정확도가 향상되는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서의 제조 방법
|
| 23 |
23
제 22 항에 있어서,상기 미세유체소자를 덮는 인캡슐레이션(encapsulation)층을 형성하는 단계로서, 상기 인캡슐레이션층은 체액이 상기 미세유체소자로 들어가기 위한 입구를 포함하고 있는, 인캡슐레이션층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서의 제조 방법
|
| 24 |
24
제 22 항에 있어서,상기 탄성 고분자로 이루어진 기둥은 상기 미세유체소자에서 수집된 체액이 상기 3전극 센서부로 전달될 수 있도록 상기 3전극 센서부로부터 상기 중간층의 개방부를 통해 상기 미세유체소자와 연결되어 있는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서의 제조 방법
|
| 25 |
25
삭제
|
| 26 |
26
제 22 항에 있어서,상기 다공성 Au층은 금과 은을 동시에 증착시켜 합금을 형성한 후 은을 합금으로부터 식각하여 다공성 Au층을 형성하는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서의 제조 방법
|
| 27 |
27
제 22 항에 있어서,상기 중간층은 큐어링(curing) 가능한 탄성 고분자로 이루어지며, 이러한 중간층에 의해 면직물 기반 미세유체소자가 부착될 수 있는,미세유체소자를 이용한 피부 부착형 센서의 제조 방법
|
