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산란부를 갖는 가스센서 패키지 및 그를 제조하는 방법

  • 기술번호 : KST2020010508
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 산란부를 갖는 가스센서 패키지 및 그를 제조하는 방법을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 가스 내 특정 성분의 양을 센싱하는 가스센서 패키지에 있어서, 기 설정된 파장 대역의 광을 조사하는 광원, 상기 광원이 광을 조사하는 방향으로 상기 광원 상에 도포된 전극, 상기 특정 성분을 센싱하여 상기 전극 간의 저항값을 가변시키는 센싱물질 및 상기 센싱물질이 배치되고, 상기 기 설정된 파장 대역의 광을 상기 센싱물질이 위치한 방향으로 반사시키는 반사홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지를 제공한다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 21/33 (2006.01.01)
CPC G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01)
출원번호/일자 1020190010515 (2019.01.28)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0093266 (2020.08.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.02.18)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김완호 광주광역시 광산구
2 전시욱 광주광역시 북구
3 장인석 서울특별시 양천구
4 송영현 광주광역시 광산구
5 김재필 광주광역시 광산구
6 정호중 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태영 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 *** A동, ***호(태정특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2019-0098035-76
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0167352-31
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.11.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.09 수리 (Accepted) 9-1-2019-0056902-26
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0328671-38
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2020-0714793-52
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.07.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0714825-25
10 등록결정서
Decision to grant
2020.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0782973-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가스 내 특정 성분의 양을 센싱하는 가스센서 패키지에 있어서,기 설정된 파장 대역의 광을 조사하는 광원;상기 광원이 광을 조사하는 방향으로 상기 광원 내 포함된 기판 상에 각각 도포되는 전극;상기 특정 성분을 센싱하여 상기 전극 간의 저항값을 가변시키는 센싱물질; 및상기 센싱물질이 배치되고, 상기 기 설정된 파장 대역의 광을 상기 센싱물질이 위치한 방향으로 반사시키는 반사홈을 포함하되,상기 기판은 지면에서 수직 방향으로 기설정된 간격마다 돌출부를 포함하고, 상기 센싱 물질은 상기 돌출부 사이의 공간에 도포되는 방식 및 필름 형태로 상기 돌출부 상에만 도포되는 방식 중 어느 하나의 방식으로 형성됨으로써, 상기 광원으로부터 조사된 광이 상기 기판을 통과하여 상기 돌출부를 지나 상기 돌출부의 최상부 주변에서 상기 센싱 물질로 방사되는 것이고,상기 반사홈은 하부면에 형성되어 상기 센싱 물질이 상부에 도포되는 센싱물질 배치부와, 상기 광원으로부터 조사된 광을 상기 센싱 물질이 위치한 방향으로 반사시키기 위해 기설정된 기울기를 갖는 경사면 형태로 형성된 광산란부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지
2 2
제1항에 있어서,상기 광원은,LED 플립칩으로 구현되는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 광원은,자외선 파장대역의 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지
5 5
제1항에 있어서,상기 센싱물질은,산화아연(ZnO), 산화 티타늄(TiO2), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐(In2O3) 중 일부 또는 전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지
6 6
제1항에 있어서,상기 센싱물질은,상기 광원이 조사하는 광을 수광함으로써, 상기 특정 성분을 센싱하기 위해 활성화되는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지
7 7
기 설정된 파장 대역의 광을 조사하는 광원을 이용해 가스 내 특정 성분의 양을 센싱하는 가스센서 패키지를 제조하는 방법에 있어서,상기 광원 상에 기 설정된 형태를 갖는 반사홈을 식각하는 식각과정; 상기 광원이 광을 조사하는 방향으로 상기 광원 내 포함된 기판 상에 각각 도포하는 제1 도포과정; 및 상기 반사홈에 상기 특정 성분을 센싱하는 센싱물질을 도포하는 제2 도포과정을 포함하되,상기 기판에 지면에서 수직 방향으로 기설정된 간격마다 돌출부를 포함하는 경우에, 상기 제2 도포 과정은 상기 돌출부 사이의 공간에 상기 센싱 물질을 도포하는 과정 및 필름 형태로 상기 돌출부 상에만 상기 센싱 물질을 도포하는 과정 중 어느 하나의 과정을 선택하여 수행하는 것이고,상기 식각 과정은 상기 반사홈의 하부면에 상기 센싱 물질이 상부에 도포되는 센싱물질 배치부를 형성하고, 상기 광원으로부터 조사된 광을 상기 센싱 물질이 위치한 방향으로 반사시키기 위해 기설정된 기울기를 갖는 경사면 형태로 광산란부를 형성하는 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지 제조방법
8 8
제7항에 있어서,상기 광원은,LED 플립칩으로 구현되는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지 제조방법
9 9
제7항에 있어서,상기 광원은,자외선 파장대역의 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지 제조방법
10 10
제7항에 있어서,상기 센싱물질은,산화아연(ZnO), 산화 티타늄(TiO2), 산화주석(SnO2) 및 산화인듐(In2O3) 중 일부 또는 전부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지 제조방법
11 11
제10항에 있어서,상기 센싱물질은,상기 광원이 조사하는 광을 수광함으로써, 상기 특정 성분을 센싱하기 위해 활성화되는 것을 특징으로 하는 가스센서 패키지 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 산업통상자원부 ㈜포인트엔지니어링 산업핵심기술개발사업 Non Silicon 기반 AAO 세라믹 기판을 이용한 10mW급 초소형 TVOC/Alcohol 듀얼 가스센서 및 모듈 개발