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탄소 페이스트를 이용하는 스크린 프린팅 공정을 수행하여, 종이 기판에 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계; 음성 감광제를 이용하는 포토리소그래피 공정을 수행하여, 상기 종이 기판에 상기 제1 및 제2 전극을 구비하되 친수성을 갖는 마이크로 채널 영역과, 소수성을 갖는 비채널 영역을 형성하는 단계; 및상기 종이 기판 상에 상기 마이크로 채널 영역을 덮는 커버부재를 결합하는 단계;를 포함하는, 종이 기반 마이크로 유체 연료 전지의 제조 방법
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제10 항에 있어서,상기 종이 기판에 상기 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계는,상기 종이 기판 상에, 서로 이격되어 상기 종이 기판에 평행한 일 방향을 따라 연장되는 개구들을 갖는 제1 마스크를 배치하는 단계;상기 개구들을 채우도록 상기 제1 마스크 상에 상기 탄소 페이스트를 도포하는 단계;상기 제1 마스크를 제거하여 제1 및 제2 예비 전극을 형성하는 단계; 및상기 종이 기판을 가열하여, 상기 제1 및 제2 예비 전극으로부터 상기 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계;를 포함하는, 종이 기반 마이크로 유체 연료 전지의 제조 방법
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제11 항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극을 형성하는 단계는,상기 제1 및 제2 예비 전극을 이루는 탄소를 상기 종이 기판 내부로 확산시켜 상기 제1 및 제2 전극을 형성하는, 종이 기반 마이크로 유체 연료 전지의 제조 방법
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제10 항에 있어서,상기 종이에 상기 마이크로 채널 영역과 상기 비채널 영역을 형성하는 단계는,상기 종이 기판을 음성 감광제에 침지하는 단계;상기 종이 기판을 상기 음성 감광제로부터 꺼내어 가열하는 단계;상기 종이 기판 하면에 지지 기판을 배치하는 단계;상기 종이 기판 상면에 상기 마이크로 채널 영역에 상응하는 개구를 갖는 제2 마스크를 배치하는 단계;상기 종이 기판을 노광하는 단계;상기 종이 기판으로부터 상기 지지 기판 및 상기 제2 마스크를 분리하는 단계;상기 종이 기판을 가열하는 단계; 및상기 종이 기판을 현상하여, 상기 음성 감광제가 제거된 상기 마이크로 채널 영역과 상기 음성 감광제가 잔존하는 상기 비채널 영역을 형성하는 단계;를 포함하는, 종이 기반 마이크로 유체 연료 전지의 제조 방법
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제10 항에 있어서,상기 종이 기판 하면에, 지지부재를 결합하는 단계;를 더 포함하는, 종이 기반 마이크로 유체 연료 전지의 제조 방법
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