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대상체를 촬영하는 촬영부; 및상기 대상체와 촬영부 사이에 위치하여, 상기 촬영부에 의해 촬영되는 상기 대상체의 분해능을 향상시키는 렌즈부;를 포함하며, 상기 렌즈부는 침지렌즈를 포함하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제1항에 있어서, 상기 렌즈부는 볼록한 반구 형상의 볼록부와, 상기 볼록부로부터 상기 대상체를 향해 연장되는 연장부를 가지며, 상기 볼록부와 연장부는 상호 일체로 형성되거나 또는 분리되어 형성되는 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제1항에 있어서, 상기 촬영부는 상기 대상체의 열 온도를 측정하여 열적 특성을 촬영하는 적외선 카메라를 포함하며, 상기 침지렌즈는 열 온도 측정에 관련된 적외선 파장 영역의 빛을 통과시키고 1이상의 굴절률을 가지는 소재로 형성되는 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제1항에 있어서, 상기 침지렌즈는 상기 대상체와의 사이에 공기층에서 유발되는 난반사 또는 열을 차단하기 위해 코팅된 차단층을 포함하는 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제1항에 있어서, 상기 침지렌즈는 서로 다른 매질의 렌즈로 교체 가능하며, 상기 대상체에 대해 밀착되거나 이격되는 간격 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제1항에 있어서, 상기 대상체를 향해 움직임 가능한 적어도 하나의 프로브부를 포함하며,상기 침지렌즈는 상기 적어도 하나의 프로브부 중 어느 하나와 연결되어 상기 대상체와 촬영부 사이로 진입될 수 있는 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제6항에 있어서, 상기 침지렌즈는 렌즈 홀더에 지지되어 상기 프로브부와 연결되며, 상기 침지렌즈의 외주면에는 상기 렌즈 홀더에 삽입되어 결합되기 위한 단턱이 원주방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제2항에 있어서, 상기 침지렌즈는 렌즈 홀더에 지지되어 상기 프로브부와 연결되며, 상기 연장부가 상기 렌즈 홀더로부터 돌출되어 상기 대상체를 향해 연장되도록, 상기 렌즈 홀더의 높이는 상기 연장부의 높이보다 낮도록 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션장치
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제2항에 있어서, 상기 볼록부와 연장부는 상호 같은 곡률을 가지고 연결되어, 상기 침지렌즈는 반구와 구 사이의 중간 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제1항에 있어서, 상기 대상체는 내부가 진공 또는 비진공 상태인 챔버부의 내부에 마련되는 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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대상체의 특성을 촬영하는 촬영부; 굴절율이 1 이상이며 적어도 일부가 반구 형상인 침지렌즈를 포함하는 렌즈부; 및상기 침지렌즈를 상기 대상체와 상기 촬영부 사이로 이동시키는 이동부; 를 포함하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제11항에 있어서, 상기 대상체와 접속 가능한 적어도 하나의 프로브 팁 및 상기 프로브 팁 가운데 적어도 하나를 지지하고, 움직임이 가능한 적어도 하나의 프로브 암을 포함하는 프로브부를 포함하되, 상기 이동부는 상기 프로브 암 가운데 어느 하나이고, 상기 프로브 암에 상기 렌즈부가 연결되는 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제11항에 있어서, 상기 렌즈부는, 상기 이동부와 연결되는 렌즈 연결부재; 상기 렌즈 연결부재로부터 상기 대상체를 향해 연장되는 렌즈 지지대; 및상기 렌즈 지지대와 연결되어 상기 침지렌즈를 원주방향으로 지지하는 환형 렌즈 홀더;를 포함하는 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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제11항에 있어서, 상기 대상체가 놓여지는 스테이지가 내부에 마련되는 챔버부;를 포함하며, 상기 챔버부의 내부는 진공 또는 비진공 상태인 것을 특징으로 하는 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치
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