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평면형 플라즈마 진단 장치에 있어서,주파수가 가변되는 마이크로웨이브를 플라즈마에 인가하는 송신 안테나;상기 플라즈마로부터 상기 마이크로웨이브를 수신하는 수신 안테나;상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나가 서로 절연되도록 감싸는 몸체부;를 포함하고,상기 송신 안테나의 마이크로웨이브를 인가하는 상부면과 상기 수신 안테나의 마이크로웨이브를 수신하는 상부면이 평면형이고, 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 측면이 서로 대향하는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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제 1 항에 있어서,상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나의 상부면은 사각형인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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제 2 항에 있어서,상기 평면형 송신 안테나와 상기 평면형 수신 안테나는 상기 몸체부 내에 서로 인접하여 서로 대향하도록 배치되는 직육면체 형상인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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제 1 항에 있어서,상기 송신 안테나의 상기 상부면과 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 간격(D)이 1 mm 이상 15 mm 이하인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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제 1 항에 있어서,상기 송신 안테나의 상부면과 상기 수신 안테나의 상부면에 절연막이 형성되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 상부면의 세로 길이는 상기 상부면의 가로 길이보다 길고 상기 송신 안테나의 상기 상부면의 세로 길이와 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 세로 길이가 서로 대향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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제 6 항에 있어서,상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 세로 길이는 2 mm 이상 30 mm 이하인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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제 7 항에 있어서,상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 가로 길이는 0
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제 1 항에 있어서,상기 송신 안테나 또는 상기 수신 안테나의 상기 상부면과 대향하는 상기 송신 안테나 또는 상기 수신 안테나의 하부면을 통하여 초고주파를 송신 또는 수신하기 위한 케이블이 연결되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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제 9 항에 있어서,상기 하부면의 세로 길이의 중심으로부터 상기 세로 길이의 1/4의 범위 내에서 초고주파를 송신 또는 수신하기 위한 상기 케이블이 연결되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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평면형 플라즈마 진단 장치에 있어서,주파수가 가변되는 마이크로웨이브를 플라즈마에 인가하는 송신 안테나;상기 플라즈마로부터 상기 마이크로웨이브를 수신하는 수신 안테나;상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나가 서로 절연되도록 감싸는 몸체부;를 포함하고,상기 송신 안테나의 마이크로웨이브를 인가하는 상부면과 상기 수신 안테나의 마이크로웨이브를 수신하는 상부면이 반원 평면이고, 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 현이 서로 대향하는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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제 11 항에 있어서,상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나는 상기 몸체부 내에 서로 인접하여 서로 대향하도록 배치되는 반원 기둥 형상인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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평면형 플라즈마 진단 장치에 있어서,주파수가 가변되는 마이크로웨이브를 플라즈마에 인가하는 송신 안테나;플라즈마로부터 상기 마이크로웨이브를 수신하는 수신 안테나;상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나가 서로 절연되도록 감싸는 몸체부;를 포함하고,상기 송신 안테나의 마이크로웨이브를 인가하는 상부면과 상기 수신 안테나의 마이크로웨이브를 수신하는 상부면이 평면형이고, 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 측면이 서로 대향하며, 상기 송신 안테나 또는/및 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 중앙부 또는 가장자리로부터 기둥부가 연장되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치
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