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내부에 원료가 장입되고 가열되는 도가니;상기 도가니의 상부측에 제공되는 종자정; 및, 상기 도가니의 내측으로 상기 종자정과 이격되어 제공되는 가이드수단;을 포함하여 구성되고, 상기 가이드수단은 상기 종자정 측의 제1 가이드와 상기 제1 가이드에 일체로 형성된 제2 가이드를 포함하되, 상기 제1 가이드는 적어도 상기 제2 가이드 보다 공극율이 더 높은 흑연으로 형성된 탄화규소 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,상기 제1 가이드는 밀도가 1∼1
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제2항에 있어서,상기 제1 가이드의 다공성 흑연과 제2 가이드의 고밀도 흑연은 순도가 99% 이상인 탄화규소 단결정 성정장치
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내부에 원료가 장입되고 가열되는 도가니;상기 도가니의 상부측에 제공되는 종자정; 및, 상기 도가니의 내측으로 상기 종자정과 이격되어 제공되는 가이드수단;을 포함하여 구성되고, 상기 가이드수단은 상기 종자정 측의 제1 가이드와 상기 제1 가이드에 일체로 형성된 제2 가이드를 포함하되, 상기 제1 가이드는 설정된 길이(L)를 갖는 탄화규소 단결정 성장장치
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제4항에 있어서, 상기 제1 가이드는 다공성 흑연으로 형성되고, 상기 제2 가이드는 고밀도 흑연으로 형성되되, 상기 제1 가이드의 설정길이(L)는 5∼10 ㎜ 인 탄화규소 단결정 성장장치
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내부에 원료가 장입되고 가열되는 도가니;상기 도가니의 상부측에 제공된 종자정; 및, 상기 도가니의 내측으로 상기 종자정과 이격되어 제공되는 가이드수단;을 포함하여 구성되고, 상기 가이드수단은 상기 종자정 측의 제1 가이드와 상기 제1 가이드에 일체로 형성된 제2 가이드를 포함하되, 상기 제1,2 가이드는 서로 다른 설정각도(X)(Y)를 갖는 탄화규소 단결정 성장장치
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제6항에 있어서, 상기 제1 가이드는 다공성 흑연으로 형성되고, 상기 제2 가이드는 고밀도 흑연으로 형성되되, 상기 제1 가이드는 수직선을 기준으로 10˚이하의 각도(X)로 경사지고, 상기 제2 가이드는 수직선을 기준으로 30∼45˚의 각도(Y)로 경사진 탄화규소 단결정 성장장치
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8
제2항, 제5항 및 제7항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 다공성 흑연의 제1 가이드와 종자정 간의 간격은 1∼5㎜인 탄화규소 단결정 성장장치
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제5항 또는 제7항에 있어서,상기 제1 가이드는 밀도가 1∼1
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제1항, 제4항 및 제6항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 가이드수단의 제2 가이드는, 상기 제1 가이드의 하방으로 일체로 형성된 경사부; 및, 상기 경사부의 하방에 일체로 형성되고 상기 도가니 내면 측의 원통부;로 이루어진 탄화규소 단결정 성장장치
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11
제10항에 있어서, 상기 제2 가이드의 경사부는 수직선을 기준으로 30∼45˚의 각도(Y)로 경사진 탄화규소 단결정 성장장치
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12
제1항, 제4항 및 제6항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 도가니의 상부측으로 상기 종자정이 부착토록 제공되는 종자정 홀더;상기 도가니를 둘러싸는 단열재와 그 외측의 석영관; 및, 상기 석영관 외측으로 도가니를 가열토록 제공된 가열수단;을 더 포함하는 탄화규소 단결정 성정장치
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