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제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 갖는 캐소드 전극으로서, 상기 캐소드 전극은 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향하여 리세스된 그루브들을 포함하는 것; 및상기 그루브들 내에 배치되며, 제1 방향으로 연장된 코어 및 상기 코어를 둘러싸는 전도성 와이어를 포함하는 에미터 구조체들을 포함하되,상기 그루브들은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열되고,상기 에미터 구조체들은 서로 다른 수직적 레벨에 위치하는 전계 방출 소자
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제1 항에 있어서,상기 캐소드 전극의 상기 제1 면은 상기 제2 면을 향하여 리세스된 오목 영역을 포함하고, 상기 그루브들은 상기 오목 영역 상에 형성되는 전계 방출 소자
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제2 항에 있어서,상기 오목 영역은 상기 제1 방향을 따라 일정한 높이를 갖는 전계 방출 소자
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제1 항에 있어서,상기 그루브들은 상기 제1 방향을 따라 나란히 연장된 제1 그루브 및 제2 그루브를 포함하고,상기 제1 그루브의 바닥면은 상기 제2 그루브의 바닥면에 대하여 기울어진 전계 방출 소자
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5
제1 항에 있어서,상기 에미터 구조체의 직경은 상기 그루브의 깊이에 비해 작은 전계 방출 소자
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제1 항에 있어서,상기 제1 면과 마주하며, 상기 제1 면에 대해 기울어진 제3 면을 포함하는 타겟을 더 포함하는 전계 방출 소자
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7
제6 항에 있어서,상기 제3 면은 상기 제2 방향과 평행한 전계 방출 소자
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8
제1 항에 있어서,상기 전도성 와이어는 복수의 스트링들을 포함하고,상기 스트링들은 상기 제2 면과 멀어지는 방향으로 돌출된 단부들을 갖는 전계 방출 소자
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9
제8 항에 있어서,상기 스트링들의 단부들은 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 연장되는 전계 방출 소자
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10
제1 항에 있어서,상기 전도성 와이어는 서로 결합된 복수의 스트링들을 포함하는 전계 방출 소자
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11
제1 항에 있어서,상기 전도성 와이어는 탄소나노튜브를 포함하는 전계 방출 소자
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12
제1 항에 있어서,상기 제1 면 상의 타겟 및 상기 캐소드 전극과 상기 타겟 사이의 게이트 구조체를 더 포함하되,상기 게이트 구조체는 상기 제1 방향으로 연장된 복수의 전도성 막대들을 포함하는 전계 방출 소자
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13
제1 면 및 상기 제1 면과 대향하는 제2 면을 갖는 캐소드 전극으로서, 상기 캐소드 전극은 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향하여 리세스된 그루브를 포함하는 것, 상기 그루브는 제1 방향으로 연장되고;상기 그루브 내에 배치된 에미터 구조체; 및상기 제1 면과 마주하는 제3 면을 포함하는 타겟을 포함하되,상기 에미터 구조체는 상기 제1 방향으로 연장된 코어 및 상기 코어를 둘러싸는 전도성 와이어를 포함하고,상기 전도성 와이어는 상기 타겟을 향하여 돌출된 단부들을 갖는 스트링들을 포함하는 전계 방출 소자
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14
제13 항에 있어서,상기 스트링들은 탄소나노튜브를 포함하는 전계 방출 소자
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제13 항에 있어서,상기 단부들은 상기 그루브의 내측벽의 최상부보다 낮은 레벨에 위치하는 전계 방출 소자
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제13 항에 있어서,상기 스트링들의 상기 단부들은 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 연장되는 전계 방출 소자
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제13 항에 있어서상기 타겟과 상기 캐소드 전극의 사이에 배치되며, 상기 제1 방향으로 연장된 개구를 갖는 게이트 구조체를 더 포함하는 전계 방출 소자
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