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플라즈마 방전이 발생할 수 있는 방전공간을 형성하며 전류가 흐르는 방전면과, 상기 방전공간으로 기체를 공급하는 공급구와, 상기 방전공간에서 발생한 플라즈마를 방출하는 출구를 포함한 하우징; 및상기 하우징에 대해 회전 가능하도록 상기 방전공간에 배치된 회전축과, 상기 회전축에서 상기 방전면을 향하여 돌출하는 날개를 포함하며, 상기 방전면과 상기 날개의 사이에 플라즈마 방전을 발생시키도록 전류가 흐르는 전극;을 포함하고,상기 방전면은 상기 회전축의 연장방향을 따라 경사를 이루도록 형성되고, 상기 전극의 상기 날개의 단부는 상기 방전면의 표면으로부터 일정한 간격으로 이격되도록 상기 회전축의 연장방향을 따라 경사를 이루는, 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,상기 하우징은 상기 회전축의 상기 날개를 향하여 보조 기체를 주입하는 보조 공급구를 더 포함하는, 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,상기 날개는 복수 개가 배치되는, 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,상기 하우징은 상기 방전면의 표면에서 상기 회전축의 연장 방향을 따라 경사를 이루며 연장하도록 배치되어 상기 방전공간으로 공급된 가스가 상기 회전축을 중심으로 선회하도록 유도하는 선회 유도부를 더 포함하는, 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,상기 날개는 상기 회전축의 연장 방향과 상기 회전축의 축 중심에 대한 원주방향을 따라 나선형상으로 휘어지는, 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서,상기 전극의 상기 회전축은 상기 하우징의 상기 공급구를 통해 상기 방전공간으로 공급된 기체가 진행하는 방향으로 연장하도록 배치되고, 상기 하우징은 상기 방전공간을 가로지르도록 배치되어 상기 회전축을 회전 가능하게 지지하는 지지대를 더 포함하고, 상기 지지대는 상기 공급구를 통해 공급된 기체의 흐름을 허용하는 통로를 포함하는, 플라즈마 발생장치
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제6에 있어서,상기 전극은 상기 회전축이 삽입되는 중심통로를 포함하여 상기 지지대에 고정되는 고정축과, 상기 고정축의 상기 중심통로에 삽입된 상기 회전축의 단부를 탄성적으로 지지하는 탄성 지지부와, 상기 고정축과 상기 회전축의 사이에 배치되어 상기 회전축을 회전하도록 지지하는 베어링을 더 포함하는, 플라즈마 발생장치
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8
제7항에 있어서,상기 탄성 지지부는 상기 회전축의 상기 단부에 접촉하는 볼과, 상기 볼을 탄성적으로 가압하는 탄성 가압부를 포함하는, 플라즈마 발생장치
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 상기 플라즈마 발생장치; 및코팅용 폴리머 소재를 포함하여 상기 하우징의 상기 출구에 배치되어 상기 방전공간에서 발생한 플라즈마를 통과시킴으로써 상기 코팅용 폴리머 소재가 포함된 플라즈마 젯을 외부로 분출시키는 코팅용 노즐;을 포함하는, 코팅장치
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제9항에 있어서,상기 코팅용 노즐은 플라즈마 젯을 분출시키는 복수 개의 분출공을 더 포함하는, 코팅장치
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제9항에 있어서,상기 코팅용 노즐의 상기 코팅용 폴리머 소재는 분말 형태이며, 상기 코팅용 노즐은 분말 형태의 상기 코팅용 폴리머 소재를 수용하며 상기 방전공간의 플라즈마를 상기 코팅용 폴리머 소재를 통해 외부로 방출하기 위한 분출공을 갖는, 코팅장치
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제9항에 있어서,상기 코팅용 노즐은 상기 하우징의 상기 출구에서 플라즈마가 방출되는 방향에 대해 가로지르는 방향을 따라 이동하도록 배치되어, 상기 코팅용 폴리머 소재가 소진되면 상기 코팅용 노즐이 상기 출구에 대해 이동함으로써 신규의 상기 코팅용 폴리머 소재를 상기 출구에 공급하는, 코팅장치
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