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저온 패럴린 성막장치

  • 기술번호 : KST2020011243
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 패럴린 다이머 분말을 기화시키는 기화부; 기화된 패럴린 다이머를 열분해하여 패럴린 모노머로 변환시키는 열분해부; 상기 패럴린 모노머를 제공받아 모재 상에 패럴린 고분자막을 형성하는 증착챔버부; 상기 증착챔버부에 연결되어 상기 증착챔버부의 진공도를 유지시키는 진공펌프부; 및 상기 증착챔버부와 상기 진공펌프부 사이에 위치하며 상기 증착챔버부 내부온도를 저온으로 형성 및 유지하는 냉각패널부를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 패럴린 성막장치를 제공한다.
Int. CL C23C 16/448 (2006.01.01) C23C 16/452 (2006.01.01) C23C 16/44 (2006.01.01)
CPC C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01) C23C 16/448(2013.01)
출원번호/일자 1020190013374 (2019.02.01)
출원인 한밭대학교 산학협력단, 주식회사 엠바디텍
등록번호/일자 10-2249531-0000 (2021.04.30)
공개번호/일자 10-2020-0095700 (2020.08.11) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.02.01)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 엠바디텍 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이화성 대전광역시 유성구
2 나광준 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인오암 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0120315-17
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.12 수리 (Accepted) 4-1-2019-5072792-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.12.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2020-0006580-25
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5036548-44
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.09.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0636585-01
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.11.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1216423-61
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-1216489-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
패럴린 다이머 분말을 기화시키는 기화부;기화된 패럴린 다이머를 열분해하여 패럴린 모노머로 변환시키는 열분해부;상기 패럴린 모노머를 제공받아 모재 상에 패럴린 고분자막을 형성하는 증착챔버부; 상기 증착챔버부에 연결되어 상기 증착챔버부의 진공도를 유지시키는 진공펌프부; 및상기 증착챔버부와 상기 진공펌프부 사이에 위치하며 상기 증착챔버부 내부온도를 저온으로 형성 및 유지하는 냉각패널부를 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 패럴린 성막장치
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제 1 항에 있어서, 상기 냉각패널부는, 복수개의 홀을 구비하며 진공펌프부의 일측 단부를 커버하는 펌프커버와, 상기 펌프 커버의 외주면과 체결되는 연장패널로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저온 패럴린 성막장치
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제 1 항에 있어서, 상기 냉각패널부는, 구리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 저온 패럴린 성막장치
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제 1 항에 있어서, 상기 진공펌프부는, 타측에 연결되는 냉동기 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 패럴린 성막장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 패럴린 다이머 분말은 패럴린-C, 패럴린-N 및 패럴린-D로 이루어진 군에서 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 저온 패럴린 성막장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 증착챔버부의 진공도는 5 내지 20 mTorr로 유지되고, 상기 패럴린 고분자막의 증착속도는 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소벤처기업부 중소기업산학협력센터 산학연협력기술개발(R＆D) 고효율 패럴린 코팅을 위한 크라이오 냉각장치 개발