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투명한 상부 기판, 그리고상기 상부 기판과 틈새를 유지한 채로 결합되어 있는 하부 기판을 포함하며,상기 하부 기판은 캐비티가 형성되어 있고, 상기 상부 기판은 개구부가 형성되어 있으며, 상기 캐비티와 상기 개구부가 정렬되어 상기 상부 기판과 상기 하부 기판이 결합되고,미세 금속 마스크를 대신하여 상기 미세 금속 마스크의 세정 공정을 분석하는 데 사용되며, 상기 미세 금속 마스크를 모사하여 만들어지는모사 마스크
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투명한 상부 기판,상기 상부 기판과 틈새를 유지한 채로 결합되어 있는 하부 기판, 그리고상기 상부 기판과 상기 하부 기판의 모서리를 감싸는 지지 패드를 포함하며,미세 금속 마스크를 대신하여 상기 미세 금속 마스크의 세정 공정을 분석하는 데 사용되며, 상기 미세 금속 마스크를 모사하여 만들어지는모사 마스크
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제1항 또는 제2항에서,상기 하부 기판은 복수의 돌출부가 형성되어 있으며, 상기 돌출부가 상기 상부 기판과 결합되는 모사 마스크
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제3항에서,상기 돌출부에 의하여 상기 틈새가 일정한 간격으로 유지되는 모사 마스크
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제1항 또는 제2항에서,상기 상부 기판은 유리로 이루어지고, 상기 하부 기판은 실리콘으로 이루어지는 모사 마스크
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미세 금속 마스크를 대신하여 상기 미세 금속 마스크의 세정 공정을 분석하는 데 사용되며, 상기 미세 금속 마스크를 모사하여 만들어지는 모사 마스크를 제조하는 방법으로서,하부 기판을 준비하는 단계,상기 하부 기판에 캐비티를 형성하는 단계,투명한 상부 기판에 개구부를 형성하는 단계, 그리고상기 하부 기판과 틈새를 유지한 채로 상기 상부 기판을 결합하는 단계를 포함하며,상기 결합 단계는 상기 캐비티와 상기 개구부를 정렬하여 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 결합하는 단계를 포함하는모사 마스크 제조 방법
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미세 금속 마스크를 대신하여 상기 미세 금속 마스크의 세정 공정을 분석하는 데 사용되며, 상기 미세 금속 마스크를 모사하여 만들어지는 모사 마스크를 제조하는 방법으로서,하부 기판을 준비하는 단계,상기 하부 기판과 틈새를 유지한 채로 투명한 상부 기판을 결합하는 단계, 그리고상기 상부 기판과 상기 하부 기판이 고정되도록 지지 패드가 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 감싸는 단계를 포함하는 모사 마스크 제조 방법
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제6항 또는 제7항에서,상기 결합 단계는 상기 하부 기판에 복수의 돌출부를 형성하는 단계, 그리고 상기 돌출부에 상기 상부 기판을 결합하는 단계를 포함하는 모사 마스크 제조 방법
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제6항 또는 제7항에서,상기 상부 기판은 유리로 이루어지고, 상기 하부 기판은 실리콘으로 이루어지는 모사 마스크 제조 방법
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미세 금속 마스크를 모사하여 만들어지는 모사 마스크를 이용하여 상기 미세 금속 마스크의 세정 공정을 분석하는 방법으로서,상기 모사 마스크를 준비하는 단계,상기 모사 마스크에 오염 물질을 증착하는 단계,상기 모사 마스크를 세정하는 단계, 그리고상기 모사 마스크를 분석하는 단계를 포함하고,상기 모사 마스크는,투명한 상부 기판, 그리고상기 상부 기판과 틈새를 유지한 채로 결합되어 있는 하부 기판을 포함하며,상기 하부 기판은 캐비티가 형성되어 있고, 상기 상부 기판은 개구부가 형성되어 있으며, 상기 캐비티와 상기 개구부가 정렬되어 상기 상부 기판과 상기 하부 기판이 결합되어 있는세정 공정 분석 방법
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미세 금속 마스크를 모사하여 만들어지는 모사 마스크를 이용하여 상기 미세 금속 마스크의 세정 공정을 분석하는 방법으로서,상기 모사 마스크를 준비하는 단계,상기 모사 마스크에 오염 물질을 증착하는 단계,상기 모사 마스크를 세정하는 단계, 그리고상기 모사 마스크를 분석하는 단계를 포함하고,상기 모사 마스크는,투명한 상부 기판,상기 상부 기판과 틈새를 유지한 채로 결합되어 있는 하부 기판, 그리고상기 상부 기판과 상기 하부 기판의 모서리를 감싸는 지지 패드를 포함하는세정 공정 분석 방법
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제10항 또는 제11항에서,상기 하부 기판은 복수의 돌출부가 형성되어 있으며, 상기 돌출부가 상기 상부 기판과 결합되어 있는 세정 공정 분석 방법
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제10항 또는 제11항에서,상기 상부 기판은 유리로 이루어지고, 상기 하부 기판은 실리콘으로 이루어지는 세정 공정 분석 방법
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제10항 또는 제11항에서,상기 분석 단계는 상기 모사 마스크의 세정 시간에 따라 상기 모사 마스크를 모니터링하는 단계를 포함하는 세정 공정 분석 방법
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제14항에서,상기 모니터링 단계는 광학 현미경 또는 형광 현미경을 사용하여 상기 모사 마스크를 모니터링하는 단계를 포함하는 세정 공정 분석 방법
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