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무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법에 있어서,폴리우레탄(PU) 필름을 이용하여 폴리우레탄레이어(100)를 형성하는 지지체형성단계(S100)와,무전해은도금레이어(200)가 형성될 위치에 일정 간격의 홀이 다수 형성된 PO(폴리올레핀계) 다이싱(Dicing) 테이프 마스크를 상기 폴리우레탄레이어(100)에 위치시키는 마스크준비단계(S200)와,플라즈마장치를 이용하여 상기 폴리우레탄레이어와 PO(폴리올레핀계) 다이싱(Dicing) 테이프 마스크로 이루어진 기판을 플라즈마 처리하기 위한 플라즈마처리단계(S300)와,용기에 상기 플라즈마 처리된 기판을 투입하고, 톨렌스 용액과 포도당 용액을 투입한 후, 쉐이커를 이용하여 균일하게 회전시켜 은 입자를 증착시켜 무전해은도금레이어(200)를 형성시키는 무전해은도금레이어형성단계(S400)와,상기 무전해은도금레이어가 형성된 기판을 레이저 커터를 이용하여 원하는 형상으로 절단하기 위한 절단단계(S500)와,상기 절단된 일정 크기의 무전해은도금레이어가 형성된 기판을 신장시켜 복수의 크랙을 발생시켜 크랙 기반의 스트레인 센서를 완성하는 무전해은도금스트레인센서완성단계(S600)를 포함하는 것을 특징으로 하는 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 크랙은,폴리우레탄(PU) 필름이 늘어날 때 은도금과의 영계수(Young's modulus) 차이로 무전해 은도금 막이 갈라지면서 형성된 것을 특징으로 하는 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 크랙은,나노 수준의 미세 크랙인 것을 특징으로 하는 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 폴리우레탄레이어(100)는,100um 두께로 형성되어 신축성과 유연성을 가지도록 하며, 상기 무전해은도금레이어(200)는,20nm 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 크랙 기반의 스트레인 센서는,전자 기기, 인공피부, 웨어러블 기기 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것에 포함되어 전기저항 변화를 모니터링하는 것을 특징으로 하는 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 크랙 기반의 스트레인 센서는,외부자극에 의해 상기 크랙의 전기적 단락 또는 개방이 발생하여 전기적 저항값이 변화되는 것을 특징으로 하는 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 크랙 기반의 스트레인 센서는,손가락 모션 측정 디바이스 혹은 팔 근육 측정 디바이스에 포함되어 구성됨으로써, 손가락 모션 혹은 팔 근육의 변화를 모니터링할 수 있는 것을 특징으로 하는 무전해 은도금을 이용한 크랙 기반 스트레인 센서 제조방법
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