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전구체 소스 공급을 위한 금속블록 결합형 히터 어셈블리를 포함하는 증착 장치

  • 기술번호 : KST2020011516
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 전구체 소스 공급을 위한 금속블록 결합형 히터 어셈블리를 포함하는 증착 장치는 기판을 지지하고 증착공정에 필요한 공간을 제공하는 반응챔버; 전구체 소스를 저장하는 전구체 저장부; 상기 반응챔버에 기화된 전구체 소스를 공급하는 가스 라인부; 및 상기 전구체 저장부 및 상기 가스 라인부를 내측에 수용하여 결합되는 금속블록 및 상기 금속블록을 가열하는 히팅 재킷이 구비되는 히터 어셈블리부를 포함한다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/448 (2006.01.01)
CPC C23C 16/45561(2013.01) C23C 16/45561(2013.01) C23C 16/45561(2013.01)
출원번호/일자 1020190019395 (2019.02.19)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0101141 (2020.08.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.02.19)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 심준형 서울특별시 강남구
2 최형종 전라북도 전주시 덕진구
3 한권덕 경기도 성남시 분당구
4 이재혁 경기도 부천시 오정구
5 김민식 서울특별시 동대문구
6 윤성원 서울특별시 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정연 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 *** *층(양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)
2 강일신 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층 혜산빌딩(양재동)(시공특허법률사무소)
3 유광철 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 *** *층 (양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)
4 백두진 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(양재동, 혜산빌딩)(시공특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.02.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0175643-55
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0649838-51
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.11.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1236505-75
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2020-1236514-86
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 지지하고 증착공정에 필요한 공간을 제공하는 반응챔버;전구체 소스를 저장하는 전구체 저장부;상기 반응챔버에 기화된 전구체 소스를 공급하는 가스 라인부; 및상기 전구체 저장부 및 상기 가스 라인부를 내측에 수용하여 결합되는 금속블록 및 상기 금속블록을 가열하는 히팅 재킷이 구비되는 히터 어셈블리부를 포함하는 증착 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 가스 라인부는,상기 기화된 전구체 소스가 이동하는 유로를 제공하는 가스라인; 상기 기화된 전구체 소스가 상기 반응챔버로 공급되도록 제어하는 공압밸브;상기 전구체 저장부로부터 상기 기화된 전구체 소스를 유입하도록 제어하는 매뉴얼밸브; 및 상기 가스라인, 상기 공압밸브, 상기 매뉴얼밸브 및 상기 전구체 저장부를 연결시키는 다수의 연결부를 포함하는 증착 장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 금속블록은,제1 금속블록 및 제2 금속블록으로 서로 대칭되게 이분할되고,체결수단을 통해 원기둥 형상을 가지도록 결합되는 증착 장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 금속블록은,내측에 상기 가스라인, 상기 공압밸브, 상기 매뉴얼밸브, 상기 연결부 및상기 전구체 저장부와 맞물려 탈부착 가능하도록 만입된 홈을 더 포함하는 증착 장치
5 5
제 4항에 있어서,상기 금속블록은,상기 만입된 홈에 배치되는 열전도층을 더 포함하는 증착 장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 금속블록은,은, 구리, 금, 알루미늄 및 마그네슘으로 이루어진 군에서 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 증착 장치
7 7
제 1항에 있어서,상기 히팅 재킷은 열선 및 단열재를 포함하는 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 환경부 고려대학교 산학협력단 환경정책기반공공기술개발사업 산업폐수 생태독성 저감을 위한 나노기술 기반 여과/산화/흡착 고도처리기술 개발
2 산업통상자원부 고려대학교 산학협력단 사외공모기초연구사업 원자층 증착 기술을 사용한 친환경 연료전지 촉매용 백금저감 기술 개발